近日，由中國計(jì)量協(xié)會(huì)主辦，上海市計(jì)量協(xié)會(huì)、江蘇省儀器儀表學(xué)會(huì)聯(lián)合承辦的首屆計(jì)量儀器裝備展（2024）（以下簡稱“計(jì)量展”）在蘇州國際博覽中心舉行。本屆展會(huì)以“計(jì)量支撐新質(zhì)生產(chǎn)力”為主題，展出總面積達(dá)到1萬平方米，吸引了近300家國家產(chǎn)業(yè)計(jì)量測試中心、計(jì)量技術(shù)機(jī)構(gòu)及國內(nèi)外高端儀器儀表企業(yè)參展，展出了1500余類計(jì)量新產(chǎn)品、新裝備與新技術(shù)。

物理科學(xué)與工程學(xué)院集中展示了直接溯源型納米長度和角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)（已獲批5項(xiàng)國家一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)）、晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)片、直接溯源型光柵干涉儀及計(jì)量型原子力顯微鏡等多項(xiàng)研究成果。學(xué)院自主研制的直接溯源長度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)準(zhǔn)確度達(dá)到0.001nm量級(jí)（相當(dāng)于頭發(fā)絲的六千萬分之一），正交角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)準(zhǔn)確性達(dá)到0.001°量級(jí)（相當(dāng)于把蛋糕按扇形均分成三十六萬份），這其中就包括了我國首個(gè)納米角度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。在直接溯源型光柵的基礎(chǔ)上，學(xué)院研究團(tuán)隊(duì)還發(fā)明了具有直接溯源特性及良好魯棒性的光柵干涉儀，能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)精度位移測量。展會(huì)期間，同濟(jì)大學(xué)的創(chuàng)新成果吸引了眾多參展嘉賓，并獲得了中央電視總臺(tái)的特別報(bào)道，受到廣泛關(guān)注。

近年來，同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院在納米計(jì)量與測試領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展，學(xué)院在直接溯源型標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的種類及精確度方面實(shí)現(xiàn)了突破，并且自主研發(fā)了高精度計(jì)量裝置及晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)片。今年5月，同濟(jì)大學(xué)被國家市場監(jiān)督管理總局遴選為首批原子顯微鏡與電子顯微鏡等高端儀器的計(jì)量測試評(píng)價(jià)機(jī)構(gòu)，有望為我國先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)提供重要支撐。