共性考核指標：目標產品應通過可靠性測試和第三方異地測試，技術就緒度達到9級;至少應用于2類儀器;明確發(fā)明專利、標準和軟件著作權等知識產權數(shù)量;形成批量生產能力，明確項目驗收時銷售數(shù)量和銷售額。

1.1 X射線菲涅耳透鏡

研究目標：開發(fā)X射線菲涅耳透鏡，突破納米尺度微結構的高深寬比加工技術難題，開展工程化開發(fā)、應用示范和產業(yè)化推廣，形成具有自主知識產權、質量穩(wěn)定可靠的產品，實現(xiàn)在同步輻射、顯微CT、軟X射線成像等儀器中的應用。

考核指標：最外環(huán)寬度≤25nm@500eV，環(huán)高≥200nm@500eV;最外環(huán)寬度≤40nm@9keV，環(huán)高≥700nm@9keV，衍射效率≥1%@9keV;X射線聚焦≤60nm;平均故障間隔時間≥5000小時。

1.2 S波段高功率速調管

研究目標：開發(fā)S波段高功率速調管，突破高壓電子槍、高功率容量輸出窗口技術，解決速調管工作穩(wěn)定性難題，開展工程化開發(fā)、應用示范和產業(yè)化推廣，形成具有自主知識產權、質量穩(wěn)定可靠的產品，實現(xiàn)在高能對撞機、同步輻射光源、自由電子激光裝置、輻射成像裝置、輻照加速器等儀器裝置中的應用。

考核指標：中心頻率2998MHz，帶寬2MHz，最大輸出功率≥50MW，脈沖寬度2μs，脈沖重復頻率≥50Hz，效率≥45%，增益≥50dB;平均故障間隔時間≥5000小時。

1.3 太赫茲倍頻器