來源：工人日報 記者 陳華
隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術的迅猛發(fā)展以及相關應用場景的不斷拓展，智能傳感器產(chǎn)業(yè)越發(fā)炙手可熱。安徽省蚌埠市有個“中國傳感谷”，園區(qū)里集聚了200余家智能傳感器相關企業(yè)，覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈上下游各個環(huán)節(jié)。
人能感知客觀世界，主要靠“眼、耳、口、鼻、舌”等人體的五官。在萬物互聯(lián)的物聯(lián)網(wǎng)世界，智能化設備需要“電子五官”來感知外部環(huán)境，這便是傳感器。
安徽省蚌埠市有個“中國傳感谷”，園區(qū)里集聚了200余家智能傳感器相關企業(yè)，覆蓋產(chǎn)業(yè)鏈上下游各個環(huán)節(jié)。據(jù)了解，這里已初步形成設計、制造、封裝、篩選、測試及模塊與系統(tǒng)集成應用等全產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展的生態(tài)體系，經(jīng)濟規(guī)?？偭恳殉賰|元。
“中國傳感谷”瞄準的目標可不止百億元，而是千億元級別。眼下，蚌埠當?shù)卣浴绊敻駪?zhàn)法”全力推進傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展，讓“電子五官”實現(xiàn)精準感知。
站穩(wěn)前沿陣地
5月，作為全國三大傳感器研發(fā)制造基地之一的蚌埠迎來第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會的召開。在這次大會上，“中國傳感谷”里的企業(yè)——安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布了一條重磅消息：8英寸晶圓生產(chǎn)線首批產(chǎn)品成功串線。這標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線正式投產(chǎn)。
如果將物聯(lián)網(wǎng)架構分成應用層、網(wǎng)絡層和感知層三個層面的話，那么感知層一定是根基。感知層主要由各類智能傳感器構成，將其嵌入到各種設備中，實現(xiàn)對溫度、濕度、壓力、位移等各類信息的實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集，為整個物聯(lián)網(wǎng)架構源源不斷輸送基礎數(shù)據(jù)。
MEMS（微機電系統(tǒng)）芯片正是智能傳感器的核心部件。安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經(jīng)理丁敬秀接受記者采訪時說，華鑫微納定位為國內(nèi)領先的“開放式、定制化MEMS代工平臺基地”，這意味著MEMS芯片將在蚌埠生產(chǎn)并向全球供貨。
中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟常務副理事長郭源生對這條全自動生產(chǎn)線的投產(chǎn)不吝贊美之詞：“這將為整個產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐，引領帶動國內(nèi)智能傳感器產(chǎn)業(yè)集群向高端化發(fā)展，重塑傳感器產(chǎn)業(yè)鏈的構架和產(chǎn)業(yè)的格局?！?
華鑫微納能取得這樣的成績，不得不提到同在“中國傳感谷”里的另一家龍頭企業(yè)——安徽北方微電子研究院集團有限公司。該公司是國內(nèi)中高端MEMS技術與產(chǎn)品頭部企業(yè)，不僅擁有國內(nèi)領先、國際先進的6/8英寸體硅MEMS微系統(tǒng)工藝平臺，還自主研發(fā)了具有國際先進水平的4套工藝技術體系，系統(tǒng)解決了MEMS制造領域技術短板。
“可以說，正因為有了北方微電子研究院的一系列科研成果和發(fā)明專利，蚌埠才能始終站在國內(nèi)傳感器技術創(chuàng)新的前沿陣地?！卑霾航?jīng)開區(qū)黨工委書記、管委會主任陶廣生說。
搶占發(fā)展先機
隨著5G、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術的迅猛發(fā)展以及相關應用場景的不斷拓展，智能傳感器產(chǎn)業(yè)也迎來發(fā)展良機。
智能汽車的方向感知、胎壓監(jiān)測、智能駕駛，智能穿戴設備的血壓測量、運動數(shù)據(jù)記錄，工業(yè)機器人的位置角度感測、力度與扭矩載荷測量……所有這些都需要智能傳感器賦予的精準感知能力。
早在1979年，中國兵器工業(yè)第二一四研究所就在微電子技術研制領域開始一系列探索。
上世紀90年代，我國的傳感器技術及其產(chǎn)業(yè)取得了長足進步，建立了安徽、陜西、黑龍江三個敏感元器件與傳感器生產(chǎn)基地，其中安徽基地就位于蚌埠。
2022年，以中國兵器工業(yè)第二一四研究所為主體單位，由華鑫智感等9家參控股公司組成的安徽北方微電子研究院集團有限公司在蚌埠成立。
此后，蚌埠市確立了“一個科研院所帶動一個產(chǎn)業(yè)發(fā)展、一個駐蚌高校共建一個產(chǎn)業(yè)園區(qū)、每個企業(yè)都擁有一個核心技術支撐”的創(chuàng)新思路。
2024年1月，由安徽北方微電子研究院集團有限公司牽頭，華東光電集成器件研究所、西安交通大學、合肥工業(yè)大學等十家單位共同建設的安徽省微機電系統(tǒng)（MEMS）技術產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新研究院成立。一年多來，這個研究院不僅完成了7項國家級及省部級項目驗收，還服務了20余家用戶，累計獲得經(jīng)濟效益近億元。
