◎科技日報記者 宋迎迎

前不久，位于山東省青島市嶗山區(qū)的致真精密儀器（青島）有限公司（以下簡稱“致真精密儀器”）傳來捷報：其自主研發(fā)的原子力顯微鏡已成功交付給東北大學(xué)、廈門大學(xué)等單位，實現(xiàn)國產(chǎn)原子力顯微鏡在多領(lǐng)域應(yīng)用場景的落地。

儀器儀表被譽為科學(xué)研究的“先行官”、工業(yè)生產(chǎn)的“倍增器”。作為我國科學(xué)儀器的發(fā)源地之一，青島已有40多年儀器儀表產(chǎn)業(yè)發(fā)展史，在工業(yè)測控、電子測量、海洋觀測、環(huán)境監(jiān)測等眾多細(xì)分領(lǐng)域頗具影響力。2024年，青島儀器儀表集群入選國家先進(jìn)制造業(yè)集群。

“青島產(chǎn)”儀器儀表如何造得更精、測得更準(zhǔn)？近日，科技日報記者深入園區(qū)、企業(yè)，探尋青島儀器儀表集群的創(chuàng)新密碼。

自主研發(fā)奠定產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)

早在20世紀(jì)80年代，青島儀器儀表產(chǎn)業(yè)就初露鋒芒。中航工業(yè)前哨研究所自主研發(fā)的國內(nèi)第一臺三坐標(biāo)測量機在青島誕生。青島嶗山電子儀器實驗所參與研發(fā)我國首臺ZIC-1型離子色譜儀并實現(xiàn)批量化轉(zhuǎn)產(chǎn)，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展奠定了堅實基礎(chǔ)。

秉承自主創(chuàng)新的基因，近年來青島在多個細(xì)分領(lǐng)域持續(xù)發(fā)力，培育出致真精密儀器、青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司（以下簡稱“盛瀚色譜”）等一批行業(yè)翹楚。

8月11日，在致真精密儀器實驗室，工作人員正利用原子力顯微鏡對單原子層樣品進(jìn)行表面粗糙度檢測。這款具有原子級分辨率的顯微鏡，是目前國內(nèi)外材料表征與納米檢測領(lǐng)域不可或缺的儀器設(shè)備，其測量精度可達(dá)30皮米級別，相當(dāng)于一根頭發(fā)絲直徑的百萬分之一。

近年來，致真精密儀器在高端儀器設(shè)備領(lǐng)域頻頻實現(xiàn)技術(shù)突破。除原子力顯微鏡等產(chǎn)品外，他們還自主研發(fā)自旋測試多功能克爾顯微鏡、工業(yè)級晶圓磁光克爾測量儀。

“公司每年在技術(shù)研發(fā)上的投入占比超過營業(yè)額的一半。”致真精密儀器董事長兼首席技術(shù)官張學(xué)瑩告訴記者，青島市良好的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和創(chuàng)新環(huán)境支撐了精密儀器產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

“未來，我們將持續(xù)深化與產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)、科研機構(gòu)的合作，打造‘技術(shù)—場景—產(chǎn)業(yè)’閉環(huán)，賦能科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)升級?！睆垖W(xué)瑩表示。

數(shù)據(jù)顯示，青島儀器儀表集群有規(guī)模以上企業(yè)300余家，科技型企業(yè)1000余家。該集群以儀器儀表制造為核心，以各類檢驗檢測認(rèn)證機構(gòu)為支撐，構(gòu)建起“制造+服務(wù)”現(xiàn)代制造業(yè)產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

盛瀚色譜在離子色譜儀、液相色譜儀等分析儀器領(lǐng)域深耕20余年，其產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于石油化工、環(huán)境保護(hù)、質(zhì)量檢驗等領(lǐng)域，國內(nèi)市場占有率連續(xù)10年位居第一。該公司還積極布局海外市場，產(chǎn)品已出口至全球82個國家。

“我們將持續(xù)強化技術(shù)創(chuàng)新，推動‘青島智造’儀器儀表走向世界?！笔㈠V創(chuàng)始人、董事長朱新勇告訴記者。

部市聯(lián)動助推協(xié)同攻關(guān)

今年3月，部市聯(lián)動項目“高可靠高靈敏在線離子色譜分析儀”在青島啟動。項目由盛瀚色譜牽頭，以產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的形式開展技術(shù)攻關(guān)，研發(fā)具有自主知識產(chǎn)權(quán)、核心部件國產(chǎn)化的高可靠高靈敏在線離子色譜儀。

在線離子色譜儀是現(xiàn)代工業(yè)的重要分析工具，代表離子色譜技術(shù)發(fā)展的新方向。由于在關(guān)鍵材料、核心部件、整機運行穩(wěn)定性、環(huán)境適應(yīng)性等方面存在短板，目前我國該類儀器仍受制于人?！案呖煽扛哽`敏在線離子色譜分析儀”項目的啟動，有望扭轉(zhuǎn)這一局面。

“項目將重點突破離子交換膜制備、色譜填料批量制備、在線離子色譜檢測等關(guān)鍵技術(shù)，研制淋洗液發(fā)生器、抑制器、色譜柱等核心部件?！敝煨掠陆榻B，該項目總投資3100萬元，完成后公司將建立可年產(chǎn)1000臺設(shè)備的生產(chǎn)線，推動在線離子色譜儀在青島實現(xiàn)國產(chǎn)化突破。

聚焦儀器儀表技術(shù)創(chuàng)新，青島通過部市聯(lián)動機制，在“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點專項中支持企業(yè)開展技術(shù)攻關(guān)，持續(xù)增創(chuàng)產(chǎn)業(yè)新優(yōu)勢。

“通過部市聯(lián)動，我們支持企業(yè)加強技術(shù)攻關(guān)，強化產(chǎn)學(xué)研協(xié)同創(chuàng)新，推動重大科技成果轉(zhuǎn)化，已形成‘基礎(chǔ)研究、技術(shù)研發(fā)、工程化研究、場景牽引、本地零部件協(xié)同、基金參與、產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用’的全閉環(huán)鏈條?！鼻鄭u市科技局區(qū)域創(chuàng)新處處長朱峰介紹。

目前，部分項目已取得階段性成果。其中，青島星賽生物科技有限公司開辟“拉曼流式”全新技術(shù)賽道，研制全球首臺高通量流式拉曼分選儀產(chǎn)品。融智生物科技（青島）有限公司自主研發(fā)我國首臺成像質(zhì)譜儀整機，該公司還實現(xiàn)國產(chǎn)質(zhì)譜儀出口歐洲的突破。

“青島將依托部市聯(lián)動項目等形式，以儀器儀表產(chǎn)業(yè)化為導(dǎo)向，推動重大科技成果產(chǎn)出和本地轉(zhuǎn)化，加速產(chǎn)業(yè)集聚，推動我國儀器儀表國產(chǎn)化、高端化發(fā)展進(jìn)程?！敝旆灞硎?。

優(yōu)質(zhì)產(chǎn)業(yè)形成集群生態(tài)

經(jīng)過40余年的發(fā)展，青島儀器儀表產(chǎn)業(yè)鏈條逐漸完善。青島持續(xù)推動精密儀器儀表產(chǎn)業(yè)園建設(shè)，支持青島創(chuàng)盛儀器儀表產(chǎn)業(yè)園等一批科技園區(qū)特色化發(fā)展，為儀器儀表產(chǎn)業(yè)打造專業(yè)園區(qū)載體。

2023年，青島市精密儀器儀表產(chǎn)業(yè)園落地青島高新區(qū)。園區(qū)企業(yè)正聚焦工業(yè)測控系統(tǒng)與裝置、實驗分析儀器、傳感器及核心元器件3個重點方向提速發(fā)展。

海克斯康制造智能技術(shù)（青島）有限公司（以下簡稱“?？怂箍怠保┦堑湫痛?。憑借自身在工業(yè)傳感器領(lǐng)域和工業(yè)軟件領(lǐng)域所擁有的16項全球首創(chuàng)產(chǎn)品和8項“世界之最”測量技術(shù)，該企業(yè)構(gòu)建起全球測量精度最高、測量范圍最大和產(chǎn)品線最廣的計量產(chǎn)品和方案。

“行業(yè)里流傳著?？怂箍怠蠝y天、下測地、中間測空氣’的說法?！焙？怂箍瞪虅?wù)運營事業(yè)群總經(jīng)理孫智宏介紹，公司的技術(shù)產(chǎn)品已應(yīng)用于航空航天、醫(yī)療、汽車等領(lǐng)域，助力C919國產(chǎn)大飛機、中國首艘大型郵輪、新能源汽車等超級工程與新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

在青島市嶗山區(qū)，青島創(chuàng)盛儀器儀表產(chǎn)業(yè)園構(gòu)建了全流程生態(tài)體系，已吸引40余家優(yōu)質(zhì)企業(yè)入駐。園區(qū)股東組建儀器儀表產(chǎn)業(yè)基金和專項孵化基金，還牽頭成立青島市儀器儀表行業(yè)協(xié)會，通過“協(xié)會+園區(qū)+基金”模式，推動行業(yè)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級。

“協(xié)會已集聚會員企業(yè)110家。?？怂箍?、盛瀚色譜等青島地區(qū)行業(yè)龍頭企業(yè)均為協(xié)會會員?！鼻鄭u市儀器儀表行業(yè)協(xié)會會長智濤介紹，目前協(xié)會已服務(wù)重點企業(yè)、高校院所300余家次，推動合作成果轉(zhuǎn)化30余項，推廣創(chuàng)新產(chǎn)品170余項。

為構(gòu)建優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)業(yè)集群生態(tài)，青島持續(xù)強化政策支持。日前，《青島市儀器儀表產(chǎn)業(yè)集群建設(shè)三年行動方案（2025—2027年）》印發(fā)。在產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新方面，該方案明確，青島將加快健全集群協(xié)同創(chuàng)新體系。

“青島將實施創(chuàng)新策源、強企聚勢、融合賦能等七大工程，進(jìn)一步強化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，一體化推動儀器儀表制造業(yè)和檢驗檢測服務(wù)業(yè)融合發(fā)展，讓集群競爭力邁上新臺階?！鼻鄭u市工業(yè)和信息化局副局長楚憲峰表示。（宋迎迎）