前言

日本電子JEM-1200EX/2000EX透射電子顯微鏡是我國八十年代較早引進(jìn)的先進(jìn)的大型精密儀器，對(duì)各種固體材料的微觀形貌和結(jié)構(gòu)進(jìn)行觀察和分析，對(duì)固體材料的元素組成進(jìn)行定性和定量分析。廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、地質(zhì)礦產(chǎn)等方面，為我國的大專院校、科研機(jī)構(gòu)、科學(xué)院所、工礦企業(yè)的科學(xué)研究和產(chǎn)品生產(chǎn)做出了不小的貢獻(xiàn)。

JEM-1200EX透射電鏡（圖1）是比較典型的大型精密儀器產(chǎn)品，該產(chǎn)品體積較大，結(jié)構(gòu)繁瑣，電路復(fù)雜，布局零散，輔助設(shè)備多，在使用過程中總體性能還是相當(dāng)穩(wěn)定的，但是由于工作年限較長，儀器發(fā)生過一些故障，下面現(xiàn)將出現(xiàn)過的一些故障維修案例進(jìn)行精煉匯編，介紹給版友們及同行參考。JEM-2000EX型電鏡與JEM-1200EX型電鏡差別不大，維修方法大同小異，可相互參考。

圖1 JEM-1200EX透射電子顯微鏡主機(jī)外觀圖

1、真空系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

正常開機(jī)，只有V1閥～V3閥打開，其他閥均處于關(guān)閉狀態(tài)。一般情況下，開機(jī)30～40分鐘左右，真空?qǐng)D標(biāo)顯示V1閥～V6閥打開，V12閥、V13閥打開，此時(shí)其他閥未打開，說明儀器不正常。再次開機(jī)偶爾可聽見鏡體內(nèi)有異常聲音，屏幕提示PI-1：253，PI-2：187，PI-3：232，PI-4：126，此時(shí)V2閥、V3閥處于關(guān)閉狀態(tài)。檢查空壓機(jī)，壓力為3.65kg/cm2偏低。

【故障分析】：

分析氣閥壓力不足，導(dǎo)致氣閥開關(guān)不穩(wěn)定。

【故障排除】：

打開空壓機(jī)，壓力加至4.8kg/cm2，再次開機(jī)，抽真空正常，各閥按儀器順序正常打開和關(guān)閉，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

打開電源啟動(dòng)儀器，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)一周，然后迅速停止。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象分析，機(jī)械泵能旋轉(zhuǎn)一周，說明啟動(dòng)電源沒有問題，機(jī)械泵旋轉(zhuǎn)要靠啟動(dòng)感應(yīng)傳感器來維持旋轉(zhuǎn)，問題可能在傳感器及控制系統(tǒng)，檢查真空系統(tǒng)未發(fā)現(xiàn)異常。

【故障排除】：

用備件傳感器更換，開機(jī)故障不變，因此重點(diǎn)放在檢查控制系統(tǒng)，打開控制系統(tǒng)檢查發(fā)現(xiàn)內(nèi)部很潮濕，部分機(jī)械部件已生銹，問題根源應(yīng)該就在于此。取下生銹部件進(jìn)行除銹清洗，烘干并加一些潤滑脂防銹，清理控制器內(nèi)部潮濕區(qū)域，安裝復(fù)原修理部件，通電開機(jī)機(jī)械泵恢復(fù)正常旋轉(zhuǎn)，故障排除。

小結(jié)：分析原因機(jī)械部件生銹導(dǎo)致機(jī)械動(dòng)作受阻，使機(jī)械泵啟動(dòng)困難被憋死，傳感器無感應(yīng)信號(hào)最后保護(hù)電路動(dòng)作，切斷工作電源。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)抽真空機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常，30秒后V12閥打開，隨即幾秒鐘后V12閥又關(guān)閉，機(jī)械泵停止保護(hù)狀態(tài)，5分鐘后儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)，無法工作。

【故障分析】：

儀器自動(dòng)關(guān)機(jī)，說明某處異常進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，循環(huán)水系統(tǒng)，空壓機(jī)系統(tǒng)，真空抽取系統(tǒng)都是重點(diǎn)檢查對(duì)象。

【故障排除】：

檢查循環(huán)水水溫、水流量正常。

檢查空壓機(jī)運(yùn)行正常，壓力指示正常。

檢查負(fù)責(zé)低真空的機(jī)械泵（RP）運(yùn)行正常。

檢查負(fù)責(zé)高真空的擴(kuò)散泵（DP）情況，打開擴(kuò)散泵發(fā)現(xiàn)加熱盤（爐）是冷的，用萬用表測(cè)量內(nèi)部加熱絲已燒斷（正常為65歐左右），說明加熱盤已損壞。更換備用加熱盤，安裝復(fù)原擴(kuò)散泵，檢查各部件及接線無誤后，重新開機(jī)經(jīng)過40分鐘運(yùn)行，各真空參數(shù)恢復(fù)正常，各閥門也按順序正常打開，儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：擴(kuò)散泵加熱盤（爐）連續(xù)工作時(shí)間較長，加熱絲容易燒斷，需要經(jīng)常檢查和維護(hù)，損壞后及時(shí)更換。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)前面抽真空一切正常，當(dāng)進(jìn)行到打開V6a閥抽電照相真空時(shí)，結(jié)果真空度下降，V6a閥無法打開，自動(dòng)回到前一級(jí)抽真空，反復(fù)循環(huán)真空度始終上不去。

【故障分析】：

由于前面抽真空沒有發(fā)現(xiàn)問題，在進(jìn)行照相室抽真空時(shí)，真空度下降，分析照相室有可能存在泄漏。進(jìn)行真空度泄漏檢測(cè)，結(jié)果照相室泄漏最快，由此判斷照相室確實(shí)存在泄漏。

【故障排除】：

照相室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，密封口較多，查找漏點(diǎn)較為困難。因此，根據(jù)先易后難的原則逐步檢查和排除故障部位。

1、清洗照相時(shí)門邊框及密封條，重新涂抹密封脂，開機(jī)故障不變。

2、清洗前端大觀察窗和兩側(cè)小觀察窗及密封條，重新涂抹密封脂，開機(jī)故障不變。

3、清洗照相室底部掃描附件，重新涂抹密封脂，故障不變。

4、檢查小熒光屏扳手組件密封情況，組件結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不好隨意拆卸檢查，臨時(shí)加工一個(gè)部件代替組件，開機(jī)故障不變。說明組件無泄漏問題，換回組件，重新涂抹密封脂。

5、檢查V3閥、V9閥真空泄漏率，工作正常未發(fā)現(xiàn)泄漏，

6、檢查照相室后蓋組件密封銜接處，臨時(shí)加工一個(gè)部件代替組件，開機(jī)抽真空V6a閥能正常打開，說明故障在后蓋組件上，仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)組件上電極的絕緣材料老化開裂導(dǎo)致真空泄漏。用密封膠封住開裂部位，干燥后組件重新涂抹密封脂，安裝復(fù)原，開機(jī)抽真空運(yùn)行恢復(fù)正常，故障排除。

小結(jié)：照相室是電鏡關(guān)鍵部位，真空要求很高，密封不良就會(huì)導(dǎo)致無法工作，因照相室的密封部位較多，應(yīng)遵循先易后難的原則逐步檢查，否則有可能會(huì)擴(kuò)大故障范圍，特殊部位可加工一些部件臨時(shí)替代進(jìn)行密封，以便于故障部位的判斷，也能提高檢修效率。

故障五（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡開機(jī)時(shí)間很長， V3閥無法打開，熒光屏顯示PI-3電流值在40μA以上。（注：正常PI-3電流值應(yīng)該≤40μA，各電鏡電流值略有差異，以安裝調(diào)試電流值為準(zhǔn)。）

【故障分析】

因?yàn)橹挥蠵I-3電流值應(yīng)該≤40μA時(shí)，V3閥才能打開。真空測(cè)量元件真空規(guī)（皮拉尼規(guī)）安裝在照相室內(nèi)，更換樣品經(jīng)常打開照相室，真空規(guī)經(jīng)常接觸空氣，容易被污染，導(dǎo)致真空檢測(cè)靈敏度降低，PI-3電流值無法下降到40μA以下，所以V3閥無法打開。

【故障排除】：

開機(jī)照相室放氣，內(nèi)部達(dá)到正常大氣壓后關(guān)機(jī)，從鏡筒下方取出真空規(guī)，用丙酮進(jìn)行清洗，干燥后密封處涂抹密封脂，安裝復(fù)原，開機(jī)抽真空觀察PI-3電流值情況，電流降到40μA以下，V3閥正常打開，電鏡運(yùn)行恢復(fù)正常工作，故障排除。

小結(jié)：真空規(guī)是檢測(cè)真空的關(guān)鍵傳感器元件，一般很難注意真空規(guī)本身是否有問題，PI-3電流值是否≤40μA是個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)，如果始終大于40μA可考慮真空規(guī)是否異常。（注：如果PI-3電流值≤40μA時(shí)，V3閥仍無法打開，可微調(diào)TR11使IC11-H第13腳輸出為0電位，此時(shí)可打開V3閥。其他真空規(guī)均可通過PI-1、PI-2、PI-3、PI-4電流值來判斷是否存在故障。）

故障六（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)抽真空，真空指示PI-1、PI-2數(shù)值為250，PI-3數(shù)值為90，PI-4數(shù)值為110，20分鐘后，V2閥打開，V3閥打開，PI-1、PI-2數(shù)值為36，PI-3數(shù)值為67，10分鐘后，PI-1、PI-2數(shù)值均為0，V9閥、V10閥反復(fù)打開或關(guān)閉，V6a閥、V6b閥不能打開，真空表指針達(dá)不到綠區(qū)，“READY"燈不亮，儀器無法正常運(yùn)行。

【故障分析】：

將鏡筒COL AIR和電子槍GUN AIR放氣， PI-1、PI-2數(shù)值均為250，完全放氣10分鐘后，PI-1、PI-2數(shù)值下降至0，關(guān)閉鏡筒COL AIR和電子槍GUN AIR開關(guān)，再次抽氣，30分鐘后，故障再次重現(xiàn)。分析原因電子槍和鏡筒的真空示值PI-1、PI-2數(shù)值在真空狀態(tài)下指示有誤，導(dǎo)致真空系統(tǒng)抽真空不能正常運(yùn)行。（圖2）

【故障排除】：

在P-I1、PI-2數(shù)值為0時(shí)，調(diào)節(jié)電鏡真空線路板上的可調(diào)電阻。

（1）先調(diào)鏡筒COLUMN，VR8、VR10順時(shí)針為減少，逆時(shí)針為增加，慢慢調(diào)到PI-1數(shù)值為38停止；

（2）調(diào)電子槍GUN，VR6、VR7順時(shí)針為減少，逆時(shí)針為增加，慢慢調(diào)到PI-2數(shù)值為38停止；

（3）此時(shí)V6a閥打開，開始抽真空，V6b閥也打開，兩個(gè)閥交替打開/關(guān)閉抽真空，10分鐘后，V3閥打開，真空表指針達(dá)到綠區(qū)，“READY燈亮”，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。

小結(jié)：PI-1、PI-2數(shù)值不穩(wěn)定為0，導(dǎo)致電子槍和鏡筒抽真空不正常，通過調(diào)節(jié)PI-1、PI-2數(shù)值正常后，故障排除。

2、拍照系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡正常工作中突然高壓斷掉，控制臺(tái)上所有指示燈均熄滅，顯示屏也不亮了，但此時(shí)可以聽見照相室內(nèi)的機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，發(fā)出不停地機(jī)械傳動(dòng)聲。

【故障分析】：

照相室有機(jī)械傳動(dòng)聲，說明總電源并未斷掉，有可能是部分電源出故障了。由于故障時(shí)正常工作中突然出現(xiàn)的，而且涉及到控制臺(tái)所有指示燈及顯示屏。因此分析故障原因不是某一單元的局部電路導(dǎo)致的，應(yīng)該出在公共電源部分。

【故障排除】：

經(jīng)順著電源電路仔細(xì)檢查，結(jié)果發(fā)現(xiàn)+5V供電電源保險(xiǎn)絲F19已經(jīng)熔斷了，用同規(guī)格保險(xiǎn)絲更換后，+5V電源恢復(fù)正常，指示燈和顯示屏也恢復(fù)正常顯示，故障排除，電鏡恢復(fù)正常工作。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

在拍攝電鏡照片時(shí)，當(dāng)按下“PHOTO”鍵后，底片不能停止在熒光屏下面，而是直接由分配盒進(jìn)入接收盒，即出現(xiàn)跳片現(xiàn)象。

【故障分析】：

該故障有可能屬于機(jī)械故障，也有可能屬于電路故障，可以依次進(jìn)行檢查維修。

【故障排除】：

先檢查機(jī)械部分，照相系統(tǒng)的機(jī)械出送部分由電機(jī)和齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)組成，從外觀上看機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)無異常。電機(jī)的啟動(dòng)和停止是由照相室里微動(dòng)開關(guān)K1、K2控制，若K1、K2失控將導(dǎo)致出送系統(tǒng)故障，打開照相室取下照相機(jī)，檢查K1、K2，發(fā)現(xiàn)K1失靈，K2正常，K1更換一個(gè)同規(guī)格的微動(dòng)開關(guān)，開機(jī)照相功能恢復(fù)正常，不再有跳片出現(xiàn)，故障排除。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

底片上圖像信息顯示正常，但底片底部的數(shù)字信息顯示空白。

【故障分析】：

分析底片本身不存在問題，問題可能出在光路系統(tǒng)或電路系統(tǒng)，這兩個(gè)系統(tǒng)是重點(diǎn)檢查對(duì)象。

【故障排除】：

先檢查光路系統(tǒng)，打開照相室，檢查照相室內(nèi)折射棱鏡，光路無阻擋現(xiàn)象，說明光路正常。再檢查電路系統(tǒng)，取下照相室小熒光屏，按下“PHOTO”鍵發(fā)現(xiàn)無光亮，檢查熒光屏燈絲是亮的，懷疑故障在熒光屏電路部分，檢查“CAMERA CRT PB（照相熒光屏控制電路板）”電源±15V、±6V正常，用試電筆靠近高壓包試電筆點(diǎn)亮，說明有高壓輸出，高壓電路正常，當(dāng)測(cè)量預(yù)加速極G2無電壓，關(guān)機(jī)檢查電路板高壓包附近元件，檢測(cè)發(fā)現(xiàn)有一個(gè)二極管D3短路，檢查其他元件未發(fā)現(xiàn)異常，取下D3再次測(cè)量仍然短路，用同一型號(hào)二極管更換，通電試機(jī)熒光屏有亮光了，安裝復(fù)原小熒光屏，進(jìn)行拍照操作，底片數(shù)字顯示恢復(fù)正常，故障排除。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

底片曝光結(jié)束后底片無法自動(dòng)收回到底片盒，偶爾底片能收回到底片盒。

【故障分析】：

由于工作不穩(wěn)定，故障也是隨機(jī)出現(xiàn)的，判斷機(jī)械傳動(dòng)裝置可能存在卡滯現(xiàn)象，也可能電路某部存在接觸不良現(xiàn)象。

【故障排除】：

檢查機(jī)械系統(tǒng)各部件傳動(dòng)良好，未發(fā)現(xiàn)卡滯現(xiàn)象，檢查“PHOTO”按鍵用萬用表測(cè)量觸點(diǎn)有不穩(wěn)定現(xiàn)象，懷疑按鍵使用時(shí)間較長和操作頻繁，造成接觸不良，更換一新按鍵，開機(jī)測(cè)試，底片能順暢自動(dòng)回到底片盒，故障排除，儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：當(dāng)發(fā)現(xiàn)按鍵接觸不良應(yīng)及時(shí)更換，使用年限較長和頻率過高的其他按鍵也存在同樣問題，也應(yīng)及時(shí)更換。

故障五（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

觀察室中調(diào)焦用小熒光屏失靈，搬動(dòng)其手柄時(shí)，小熒光屏無法移動(dòng)，大熒光屏在按下照相按鍵時(shí)上升不到位，無法進(jìn)行拍照。（圖3）

【故障分析】：

初步判斷似乎是大熒光屏升降電路出故障，但通過電鏡使用情況了解，近期使用頻繁，有生手參與操作，懷疑生手操作不熟練，可能未嚴(yán)格按操作規(guī)程操作，在搬動(dòng)小熒光屏手柄時(shí)動(dòng)作不規(guī)范，用力過猛，造成手柄部件損壞。

【故障排除】：

拆下觀察室前的玻璃窗，發(fā)現(xiàn)固定小熒光屏移動(dòng)手柄的兩個(gè)定位銷釘松動(dòng)錯(cuò)位，使小熒光屏不能移動(dòng)，同時(shí)也卡住了大熒光屏的升降，使大熒光屏無法升到正常位置，重新調(diào)整并擰緊兩個(gè)定位銷釘，開機(jī)大小熒光屏功能恢復(fù)正常工作狀態(tài)，故障排除。

小結(jié)：照相室出故障不要盲目判斷故障是電路問題，先要了解電鏡的使用情況并加以分析，可以減少維修時(shí)間和少走彎路。

圖3 JEM-1200EX電鏡照相室結(jié)構(gòu)示意圖

故障六（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

第一次按“PHOTO”鍵時(shí)，能聽見電機(jī)傳送底片夾的聲音，但第二次按“PHOTO”鍵時(shí)，大熒光屏并不抬起，底片無法被曝光，在傳送底片夾時(shí)同時(shí)伴有蜂鳴器“滴滴”報(bào)警聲。反復(fù)操作，故障不變。

【故障分析】：

第一次按“PHOTO”鍵時(shí)，計(jì)算機(jī)發(fā)出驅(qū)動(dòng)指令，電機(jī)開始轉(zhuǎn)動(dòng)，底片夾傳送到位停止后，第二次按“PHOTO”鍵時(shí)，計(jì)算機(jī)發(fā)出拍片指令，如果底片夾傳送不到位，就無法執(zhí)行拍片動(dòng)作。由于底片夾傳送異常并伴有報(bào)警聲，說明此程序執(zhí)行無法完成操作。嫌疑重點(diǎn)在底片夾傳送機(jī)構(gòu)。

【故障排除】：

關(guān)掉電源，轉(zhuǎn)動(dòng)照相室手柄放氣，照相室門自動(dòng)打開，底片盒架拉不出來，說明底片夾被卡住了。用拇指按住盒架左側(cè)可活動(dòng)突桿桿頭，輕輕往里按幾次，直到底片夾回到底片盒內(nèi)，拉出底片盒架并取出兩個(gè)底片盒。在暗室打開供片盒，發(fā)現(xiàn)最上面的底片夾裝反了，繼續(xù)檢查其他底片夾均安裝正確，未發(fā)現(xiàn)裝反現(xiàn)象，及時(shí)將錯(cuò)裝底片夾更正重裝，仔細(xì)檢查底片夾其他方面，確認(rèn)安裝無誤后，再裝回照相室，開機(jī)抽真空，待真空正常后，按“PHOTO”鍵，底片夾傳送正常無卡住現(xiàn)象，再按“PHOTO”鍵拍片也恢復(fù)正常了，故障排除。

小結(jié)：由于底片夾裝反，底片夾在傳送過程中被卡住，導(dǎo)致無法拍片進(jìn)行。因?yàn)榈灼瑠A是在暗室安裝，在操作時(shí)視線不是很清晰，若不注意就容易裝錯(cuò)底片夾。所以在安裝完后一定仔細(xì)檢查是否正確和到位，否則工作馬虎就會(huì)帶來不必要的麻煩，甚至有可能會(huì)造成儀器的損傷，因此工作時(shí)一定要認(rèn)真負(fù)責(zé)，避免出錯(cuò)。

故障七（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

照相時(shí)無法從供片盒中取出底片。表現(xiàn)為第一次按下“PHOTO”鍵，沒有聽見底片傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)聲音，R1熒光屏顯示底片余數(shù)無變化，“PHOTO”鍵指示燈沒有亮。

【故障分析】：

按下“PHOTO”鍵，熒光屏無反應(yīng)，“PHOTO”鍵指示燈也沒有亮，沒有傳送機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)聲音，幾個(gè)現(xiàn)象同時(shí)發(fā)生，說明電路出故障的可能性較大，重點(diǎn)在檢查電路控制系統(tǒng)。

【故障排除】：

檢查電源單元控制繼電器RY1的207端子對(duì)地電壓為0（正常為-12V），說明低壓直流供電無電壓。檢查照相單元CU-1的1、2端交流供電電壓為0V（正常為100VAC），沿供電線路檢查PS電源板保險(xiǎn)絲F1（1A）發(fā)現(xiàn)已熔斷，更換1A新保險(xiǎn)絲后，開機(jī)，按“PHOTO”鍵，取片機(jī)構(gòu)運(yùn)行恢復(fù)正常，無法取片故障排除。

故障八（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

有時(shí)候出現(xiàn)不送片現(xiàn)象，故障表現(xiàn)為底片曝光后仍停留在熒光屏下方曝光位置，不送入收片盒，取片和拍片程序能正常工作，但不曝光后熒光屏回落到水平位置時(shí)，“PHOTO”鍵指示燈仍然點(diǎn)亮，R1熒光屏顯示底片余數(shù)無變化，沒有聽見底片傳送機(jī)構(gòu)運(yùn)轉(zhuǎn)聲音。

【故障分析】：

“PHOTO”鍵指示燈仍然點(diǎn)亮，沒有機(jī)械傳送聲音，說明傳送電機(jī)沒有工作，底片沒有被傳送，所以熒光屏底片余數(shù)無變化，重點(diǎn)檢查傳送電機(jī)控制系統(tǒng)。

【故障排除】：

因故障時(shí)有時(shí)無，懷疑某處存在不穩(wěn)定現(xiàn)象，先切斷燈絲電流，將有控制面板上的自動(dòng)曝光改為手動(dòng)曝光，反復(fù)按幾次 “PHOTO”鍵，直到能聽見底片傳送機(jī)構(gòu)機(jī)械傳送運(yùn)行，此時(shí)底片可送入收片盒。

拆開鏡筒右側(cè)底臺(tái)蓋板，可見熒光屏電機(jī)M2和測(cè)角電位器VR，拆下電機(jī)M2聯(lián)動(dòng)皮帶輪，將皮帶清洗干燥后待用安裝，此時(shí)將熒光屏在水平位置為0時(shí)，安裝回皮帶，開機(jī)調(diào)VR直到熒光屏運(yùn)行及底片送入收片盒為止。再進(jìn)行取片操作，不再出現(xiàn)不送片現(xiàn)象，故障排除。

小結(jié)：儀器工作時(shí)間較長，電機(jī)皮帶長期摩擦，出現(xiàn)打滑現(xiàn)象，造成VR錯(cuò)位，導(dǎo)致出現(xiàn)不送片故障。

故障九（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

底片上的底片號(hào)及說明字符因曝光過度而模糊不清。

【故障分析】：

曝光過度說明可能是①曝光時(shí)間過長，②亮度過大，③熒光屏本身問題。

【故障排除】：

檢查曝光時(shí)間沒有問題，熒光屏亮度由電路控制，于是先調(diào)CAMERA CRT PB的VR7和VR8無效，測(cè)+|15V正常，測(cè)CRT柵極G1電壓正常，懷疑CRT陰極與柵極G1的絕緣下降或電壓過高，導(dǎo)致曝光時(shí)亮度過高，曝光結(jié)束（TR2截止）后，CRT亮度不能立即關(guān)閉，延長了曝光時(shí)間，引起字符曝光過度。根據(jù)CRT工作原理，陰極與柵極壓差越小亮度越低，柵極電壓已固定不可調(diào)，所以決定采用降低燈絲電壓（即降低陰極電子發(fā)射能力）來降低亮度，經(jīng)試驗(yàn)將燈絲電阻（33歐）增加到56歐，CRT曝光字符清晰，恢復(fù)到正常狀態(tài)。

小結(jié)：儀器工作時(shí)間較長，CRT電路工作點(diǎn)發(fā)生偏移，在調(diào)節(jié)無效情況下，根據(jù)工作原理可做適當(dāng)小改動(dòng)，達(dá)到恢復(fù)正常之目的，也不失為一種巧修故障的方法。

3、樣品系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

在裝有側(cè)插式測(cè)角儀的電鏡中，樣品桿上的指示器能旋轉(zhuǎn)，但樣品無法轉(zhuǎn)動(dòng)。

【故障分析】：

樣品桿與樣品更換架(B)的相對(duì)位置不吻合，使電鏡載網(wǎng)與旋轉(zhuǎn)塊未能靠近。

【故障排除】：

重新安裝樣品及載網(wǎng)，并使電鏡載網(wǎng)與旋轉(zhuǎn)塊靠近，開機(jī)樣品恢復(fù)正常轉(zhuǎn)動(dòng)。

小結(jié)：將樣品桿放在樣品桿座上時(shí)，一定要將樣品桿上放置樣品的位置，對(duì)準(zhǔn)樣品座上面的樣品架（B），并且樣品桿應(yīng)與樣品架（B）靠緊，不能留有空隙，否則當(dāng)裝入樣品時(shí)有可能使樣品與樣品桿上的旋轉(zhuǎn)模塊接觸不良，出現(xiàn)只是旋轉(zhuǎn)模塊轉(zhuǎn)動(dòng)，樣品不隨其轉(zhuǎn)動(dòng)的現(xiàn)象。（圖4）

圖4 樣品桿與樣品更換架(B)的相對(duì)位置

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

樣品只能朝一個(gè)方法旋轉(zhuǎn)或傾斜運(yùn)動(dòng)。

【故障分析】：

樣品旋轉(zhuǎn)桿電機(jī)驅(qū)動(dòng)樣品進(jìn)行傾斜和旋轉(zhuǎn)運(yùn)行，由兩組腳踏開關(guān)控制，出現(xiàn)樣品只能單向運(yùn)動(dòng)，分析某組腳踏開關(guān)使用頻繁，加上維護(hù)不佳，內(nèi)部觸點(diǎn)存在接觸不良或損壞。

【故障排除】：

拆開兩組腳踏開關(guān)，發(fā)現(xiàn)開關(guān)已嚴(yán)重磨損和氧化，導(dǎo)致開關(guān)接觸不良，為了可靠運(yùn)行，同時(shí)更換兩組新腳踏開關(guān)，安裝后開機(jī)單向運(yùn)行現(xiàn)象消失，故障排除。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

踏動(dòng)腳踏開關(guān)時(shí)測(cè)角儀電機(jī)動(dòng)作，但樣品桿內(nèi)的電機(jī)不動(dòng)作。

【故障分析】：

連接樣品桿的插頭必須插入測(cè)角儀的插座上，此時(shí)用腳踏開關(guān)才可控制樣品桿傾斜的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。如果樣品桿與測(cè)角儀的連接插頭未插好或接觸不良，就可能導(dǎo)致樣品桿電機(jī)不轉(zhuǎn)動(dòng)。

【故障排除】：

檢查樣品桿與測(cè)角儀的連接線良好，檢查插頭發(fā)現(xiàn)有些松動(dòng)，重新插緊后，開機(jī)測(cè)角儀電機(jī)和樣品桿電機(jī)均能正常運(yùn)行。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

樣品安裝良好，腳踏開關(guān)良好，踏動(dòng)腳踏開關(guān)時(shí)樣品能運(yùn)行，但運(yùn)行很慢或根本不動(dòng)。

【故障分析】：

樣品電機(jī)受控于電路，電機(jī)速度是可調(diào)的，分析調(diào)節(jié)速度旋沒有到位。

【故障排除】：

找到位于電鏡工作臺(tái)鏡筒左下方的樣品傾斜、旋轉(zhuǎn)速度調(diào)節(jié)旋鈕，發(fā)現(xiàn)旋處于緊靠零位處，將旋調(diào)節(jié)到適當(dāng)位置，使樣品恢復(fù)至正常運(yùn)行狀態(tài)，故障排除。

4、高壓、電源系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡工作正常，高壓突然跳掉，電子束束流和偏壓指示燈不亮，其余指示燈完全正常。將電鏡電源關(guān)閉一段時(shí)間后，再開機(jī)，工作20多分鐘后，又重復(fù)出現(xiàn)掉高壓故障。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象分析，與電鏡沒開電源時(shí)的狀態(tài)基本相同，估計(jì)故障出在透鏡電源部分。由于出現(xiàn)周期性故障復(fù)發(fā)，也有可能是某種原因?qū)е码婄R發(fā)生過載或過壓保護(hù)狀態(tài)。

【故障排除】：

首先檢查透鏡電源保險(xiǎn)絲是好的，說明未發(fā)生電源過載故障，電源應(yīng)該是沒有多大問題。進(jìn)一步分析其他原因，看電鏡是否處于保護(hù)狀態(tài)。由于故障不是馬上出現(xiàn)，電鏡能正常工作20多分鐘，可以推斷是電鏡的某個(gè)部件在工作一段時(shí)間后，受溫度影響而發(fā)射變化出現(xiàn)異常。電鏡的一些部件（如鏡筒內(nèi)部物鏡線圈和擴(kuò)散泵）是用冷卻水來控制的，如果冷卻水供給系統(tǒng)有故障，就會(huì)降低冷卻作用，使有關(guān)部件溫度過高，溫度超溫開關(guān)（傳感器）動(dòng)作時(shí)電鏡處于被保護(hù)狀態(tài)，因此重點(diǎn)檢查冷卻水循環(huán)水器是否正常。

檢查冷卻水循環(huán)水箱的水溫控制器指示不對(duì)。一般水溫控制在18-20℃，而這時(shí)溫度指示器是27 ℃，顯然溫度過高，冷卻水的冷卻作用降低，電鏡處于保護(hù)狀態(tài)，將指示器重新調(diào)至18℃，鏡電恢復(fù)正常工作。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡“READY”燈不亮。高壓不能加上，電鏡無法工作。

【故障分析】：

電鏡“READY”燈不亮，分析可能是真空度不足，電子槍氣體室的氟利昂氣體壓力偏低及電子槍上相連的微動(dòng)開關(guān)短路等原因。其中最大的可能性是的氟利昂氣體壓力偏低，因?yàn)樵搲毫﹄S著電鏡使用時(shí)間會(huì)慢慢降低的。

【故障排除】：

首先檢查真空度是正常的，電子槍微動(dòng)開關(guān)也是好的，但此時(shí)電子槍氣體室氟利昂壓力低于1.7（壓力表指示值），根據(jù)手冊(cè)“6-3-1”章節(jié)介紹，其壓力低于1.7時(shí)需及時(shí)補(bǔ)充氟利昂。經(jīng)補(bǔ)充氟利昂氣體使壓力升至到1.7以上，電鏡“READY”燈點(diǎn)亮，電鏡恢復(fù)正常工作。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡開機(jī)十幾分鐘后自動(dòng)停機(jī)，過一段時(shí)間再開機(jī)，十幾分鐘后電鏡又自動(dòng)停機(jī)。

【故障分析】：

電鏡能正常開機(jī)，說明系統(tǒng)運(yùn)行正常，運(yùn)行一段時(shí)間后，某處存在異常導(dǎo)致電鏡進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)而自動(dòng)停機(jī)，重點(diǎn)在各個(gè)保護(hù)系統(tǒng)以及保護(hù)裝置上。

【故障排除】：

首先檢查空壓機(jī)壓力指示正常，超壓保護(hù)裝置正常。再檢查冷卻循環(huán)水系統(tǒng)，發(fā)現(xiàn)水泵沒有運(yùn)行，用萬用表測(cè)量水泵工作電壓正常，懷疑水泵電機(jī)有故障，關(guān)掉電源，測(cè)量水泵電機(jī)線圈電阻為無窮大，繼續(xù)檢查結(jié)果發(fā)現(xiàn)電機(jī)線圈一根外接引線被腐蝕斷掉了，用電烙鐵重新焊上，檢查其他無誤后，開機(jī)冷卻循環(huán)水泵恢復(fù)正常運(yùn)行，不再出現(xiàn)十幾分鐘后自動(dòng)停機(jī)現(xiàn)象。故障排除電鏡恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：由于冷卻循環(huán)水泵沒有工作，冷卻水無法在機(jī)內(nèi)循環(huán)流動(dòng)，機(jī)內(nèi)溫度升高，當(dāng)循環(huán)水溫超過60度時(shí)，水溫超溫保護(hù)控制器啟動(dòng)，切斷工作電源，自動(dòng)保護(hù)電鏡不受損害。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

觀察樣品時(shí)，高壓加到100KV出現(xiàn)高壓放電現(xiàn)象，能聽見“噼啪”打火的聲音，退回高壓后，再慢慢加高壓到50KV時(shí)再次出現(xiàn)高壓放電現(xiàn)象，儀器無法正常工作。

【故障分析】：

正常情況下高壓在120KV內(nèi)是安全的，在低于此范圍不應(yīng)該出現(xiàn)高壓放電，由于放電現(xiàn)象出現(xiàn)，分析應(yīng)該是高壓系統(tǒng)某處絕緣不良，導(dǎo)致出現(xiàn)高壓放電打火發(fā)生。重點(diǎn)在與高壓系統(tǒng)相關(guān)的部件存在故障。

【故障排除】：

首先打開電子槍系統(tǒng)，將燈絲、陽極帽等金屬部件及陶瓷部件進(jìn)行徹底的清洗，有碳化發(fā)黑處用金相研磨膏進(jìn)行精細(xì)打磨，在清洗烘干，試著開機(jī)抽真空，結(jié)果仍有打火現(xiàn)象，仔細(xì)聆聽和觀察發(fā)現(xiàn)打火聲來自高壓電纜與電子槍連接處。將高壓電纜從高壓箱中取出，用2500V兆歐表進(jìn)行絕緣檢測(cè)指示為無窮大，說明電纜并未擊穿，在拔出高壓電纜與電子槍連接頭，仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)電纜頭側(cè)面絕緣膠皮上有一條細(xì)細(xì)的燒痕，與其對(duì)應(yīng)陶瓷部件上也有一個(gè)燒痕，罪魁禍?zhǔn)拙驮谶@里。

用小刀輕輕地刮掉電纜上的燒痕，清洗掉殘漬污物在烘干，再涂抹高壓硅脂。用研磨膏打磨陶瓷部件上的痕跡，清洗烘干。將高壓電纜安裝復(fù)原，通電試機(jī)，抽真空到位后，慢慢加高壓30KV，無打火現(xiàn)象，工作一段時(shí)間，再加高壓50KV，仍未發(fā)生打火現(xiàn)象，工作一段時(shí)間后，最后加高壓100KV，仔細(xì)觀察和細(xì)聽，再未出現(xiàn)放電打火現(xiàn)象。儀器運(yùn)行正常，故障排除。

小結(jié)：為了儀器運(yùn)行安全可靠起見，開先在50KV下連續(xù)數(shù)小時(shí)拷機(jī)，再加高壓100KV連續(xù)工作數(shù)小時(shí)，以達(dá)到儀器的穩(wěn)定狀態(tài)。

故障五（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

當(dāng)按下“HT”按鍵時(shí)，暗電流很快升高超過250μA，隨后儀器進(jìn)入自動(dòng)保護(hù)狀態(tài)。

【故障分析】：

分析高壓暗電流過流保護(hù)，故障可能出現(xiàn)在電子槍室、高壓電纜及高壓箱的部件。重點(diǎn)檢查高壓部件及相關(guān)系統(tǒng)部件。

【故障排除】：

檢查電子槍室及高壓箱氟利昂氣體，氣壓正常。斷開高壓電纜與高壓箱的連接，通電發(fā)現(xiàn)暗電流仍然很高，判斷高壓箱存在故障。先檢查高壓箱外圍電路，HT OSC PB高壓發(fā)生器電路板，HT BLC PB高壓保護(hù)電路板，HT STAB PB高壓定值控制電路，由于有高壓存在并能產(chǎn)生自動(dòng)斷電保護(hù)動(dòng)作，說明高壓發(fā)生器電路板和高壓保護(hù)電路板能正常工作，出故障概率較小。估計(jì)故障多半在高壓定值控制電路板上，拔下HT OSC PB電路板和HT BLC PB電路板插頭，測(cè)量HT STAB PB測(cè)試點(diǎn)TM4電壓75V異常（正常是120KV時(shí)為50.5V），調(diào)節(jié)VR2電壓無變化，說明有元件損壞。

關(guān)機(jī)沿TM4電路檢查，發(fā)現(xiàn)TR3有問題，焊下TR3測(cè)量b-c極已經(jīng)開路，確認(rèn)TR3已壞，更換同型號(hào)三極管，開機(jī)測(cè)量TM4電壓恢復(fù)正常，調(diào)節(jié)VR2電壓有變化，TM4電路已修復(fù)。停機(jī)插回HT OSC PB電路板和HT BLC PB電路板插頭，清洗電纜接頭烘干重新安裝好，開機(jī)試驗(yàn)暗電流正常，接通燈絲電源，光束良好，說明高壓電纜和電子槍室完好，故障排除，儀器恢復(fù)正常運(yùn)行。

故障六（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電子束流不穩(wěn)定，在80KV電子束流增加到73μA（暗電流為46μA），工作兩小時(shí)后束流下降至58μA（暗電流仍為46μA），同時(shí)亮度變暗。

【故障分析】：

該故障涉及控制單元及電路較多，分析由于電子束工作不穩(wěn)定，重點(diǎn)在電源、高壓及燈絲電路單元。

【故障排除】：

拔出高壓電纜與鏡筒連接一端，將1歐電阻模擬燈絲等效電阻與串接電流表到高壓電纜末端組成回路，（注：此時(shí)LEN POWER SUPPLY ON，按下HT鍵，HT顯示為00，順時(shí)針調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕到底。）剛接通時(shí)電流表指示為3.317A（正常為3.4A～4A）偏低，5分鐘后上升至3.36A，此后慢慢下降，30分鐘后降至3.298A。說明燈絲電流偏低且不穩(wěn)定，仔細(xì)檢查發(fā)現(xiàn)HT單元高壓調(diào)整管、功率放大管TR1～TR5和燈絲單元供電三極管TR8、TR9管都發(fā)熱較高，檢查HT OSC PB的高頻大功率三極管TR10、TR11也發(fā)熱嚴(yán)重。由于檢查元件較多，采用替換法逐個(gè)替換試驗(yàn)，當(dāng)更換高頻大功率三極管TR10、TR11后，電子束流恢復(fù)穩(wěn)定，故障排除，儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：故障原因是功率三極管熱穩(wěn)定性不佳，導(dǎo)致電子束流不穩(wěn)定。 在不確定某個(gè)元件出故障時(shí)，可采用替換法試驗(yàn)，逐步排除故障元件，操作雖然麻煩一些，但這種維修方法是可行的。

故障七（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡燈絲不加熱。表現(xiàn)為高壓正常，調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕束流顯示不變。

【故障分析】：

燈絲不加熱，分析重點(diǎn)在燈絲電路系統(tǒng)，燈絲電路由燈絲變壓器，燈絲供電電源，電源振蕩器，功率放大器，電源過濾器組成。

【故障排除】：

檢查燈絲高壓電纜未發(fā)現(xiàn)接觸不良，旋轉(zhuǎn)FILAMENT旋鈕時(shí)，測(cè)HT OCS PB的PS端電壓隨之改變正常，測(cè)高頻振蕩器輸出有矩形（1/2占空比）振蕩脈沖正常，檢查發(fā)現(xiàn)功率放大器三極管集電極散熱器固定螺絲松動(dòng)了，繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)高壓箱內(nèi)二級(jí)濾波電阻及電容固定螺絲也松動(dòng)了，將所有松動(dòng)螺絲擰緊，開機(jī)調(diào)節(jié)FILAMENT旋鈕束電流隨之變化，故障排除儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：由于儀器長期工作內(nèi)部發(fā)熱受熱脹冷縮影響，導(dǎo)致固定螺絲松動(dòng)造成接觸不良，儀器無法正常工作。所以說儀器散熱是個(gè)值得思考的問題。

故障八（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡供電電壓偏高，穩(wěn)壓電源輸出無法調(diào)節(jié)，處于失控狀態(tài)。

【故障分析】：

分析電鏡工作電源不穩(wěn)，重點(diǎn)在交流穩(wěn)壓器供電系統(tǒng)。

【故障排除】：

檢測(cè)外部供電電源220VAC正常，測(cè)交流穩(wěn)壓器輸出電壓250VAC，偏高而且不可調(diào)，說明故障在穩(wěn)壓器內(nèi)部，打開穩(wěn)壓器發(fā)現(xiàn)伺服電機(jī)發(fā)熱，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)被卡死，拆掉電機(jī)檢查發(fā)現(xiàn)電機(jī)有一端油封軸承磨壞，更換新軸承后電機(jī)修復(fù)，獨(dú)立通電檢查電機(jī)運(yùn)行良好。裝回電機(jī)通電發(fā)現(xiàn)只能朝電壓上升方向轉(zhuǎn)動(dòng)，電壓下降方向轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)打滑空轉(zhuǎn)。

拆下整套轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)為四級(jí)減速三齒輪構(gòu)成，三個(gè)齒輪由兩塊銅夾板固定，檢查支撐三個(gè)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)軸的三對(duì)孔變形，齒輪咬合產(chǎn)生松動(dòng)，當(dāng)電壓上升時(shí)齒輪軸心位置正常，電壓下降時(shí)齒輪軸心產(chǎn)生偏心，導(dǎo)致只能上升不能下降故障。

因整套機(jī)構(gòu)更新價(jià)格昂貴不合算，決定自行修理，用高分子材料和高級(jí)金屬固化膠將三個(gè)變形孔填補(bǔ)，待干燥凝固后重新打孔，再安裝好固定銅夾板，復(fù)原轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，通電穩(wěn)壓器輸出電壓正常且可調(diào)，將電壓調(diào)至220VAC，輸出電壓穩(wěn)定不變，到此穩(wěn)壓電源故障排除恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：電鏡安裝時(shí)間較長，電網(wǎng)電壓不穩(wěn)定，穩(wěn)壓器長期頻繁運(yùn)行，機(jī)械磨損嚴(yán)重，導(dǎo)致失控故障。

故障九（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡工作時(shí)經(jīng)常出現(xiàn)電子束閃動(dòng)，在120KV下也時(shí)常出現(xiàn)閃動(dòng)，暗電流68μA偏大，隨著電壓升高至160KV時(shí)閃動(dòng)加劇，高壓跳閘保護(hù)停機(jī)。

【故障分析】：

分析故障可能有：電子槍文氏帽和陽極存在污染放電，高壓箱內(nèi)部某部件放電，燈絲電路及加速管電路故障等。

【故障排除】：

1、檢查高壓箱內(nèi)電路，拆除高壓電纜，用示波器檢測(cè)TM7端子（圖4）波形穩(wěn)定性，加速電壓增加過程中，暗電流基本變化符合標(biāo)稱值，反復(fù)升壓降壓持續(xù)一段時(shí)間，均未發(fā)現(xiàn)電子束閃動(dòng)和暗電流增加情況，基本排除高壓箱內(nèi)部放電故障。

2、檢查電子槍系統(tǒng)，先更換新燈絲，對(duì)燈絲架和文氏帽進(jìn)行清洗，重新安裝。檢查發(fā)現(xiàn)高壓電纜與電子槍外殼接觸端部表面有放電痕跡，將放電痕跡清洗并清除掉，并在端部表面均勻涂敷絕緣硅膠。電子槍安裝后復(fù)原后，開機(jī)升壓電子束仍然不穩(wěn)。繼續(xù)檢查電子槍其他部件，檢查到電子槍導(dǎo)入部和燈絲交換部發(fā)現(xiàn)表面有污漬，并伴有放電現(xiàn)燒焦?fàn)睢?

將電子槍固定座拔出后發(fā)現(xiàn)外表導(dǎo)電膠固化不均勻，且發(fā)現(xiàn)有粉末狀附著物。將放電污漬及粉末徹底清洗，將電子槍固定座重新涂敷導(dǎo)電膠后，重新安裝電子槍。將離子泵和鏡筒烘烤完畢后，升壓至80KV暗電流仍偏大，20分鐘后電子束發(fā)生閃動(dòng)。

3、檢查加速管電路，用兆歐表測(cè)的加速管分壓電阻為500MΩ～600MΩ（正常為800MΩ）偏低，更換新分壓電阻。繼續(xù)檢查發(fā)現(xiàn)電子槍引入高壓電纜的接線柱絕緣子上有放電痕跡，將放電痕跡清除掉，再將電子槍重新裝配好。開機(jī)抽真空，加電壓，并觀察暗電流變化，80KV加束流未發(fā)生電子束閃動(dòng)，100KV也未發(fā)生電子束閃動(dòng)，且暗電流均為正常。工作一段時(shí)間后未發(fā)現(xiàn)異常，升壓至180KV工作正常，未出現(xiàn)閃動(dòng)現(xiàn)象。由此證明，電鏡電子束閃動(dòng)故障已排除。

小結(jié)：經(jīng)更換燈絲及分壓電阻，并徹底清洗了高壓電纜相關(guān)部件的放電痕跡，排除了故障。分析原因暗電流增加是加速管分壓電阻減小所致，系統(tǒng)多處放電是造成閃動(dòng)的禍根。

圖5 JEM-2000EX高壓箱部分電路（TM7高壓端子）示意圖

故障十（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡在170KV狀態(tài)下正常，在降至160KV（未關(guān)閉電子束）過程中，聽到高壓方向有一響聲，隨即束流下降至19μA（正常為80μA），顯示屏顯示為160KV，立即停機(jī)。休息一段時(shí)間后，重新開機(jī)，從20KV開始升至40KV，束流指示從10μA升至19μA，過程穩(wěn)定，繼續(xù)升高壓，束流指示不再發(fā)生變化。

【故障分析】：

結(jié)合電路分析，故障可能出現(xiàn)的部位有計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，束流測(cè)試系統(tǒng)，高壓發(fā)生器系統(tǒng)。

【故障排除】：

1、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)熒光屏顯示高壓值隨升壓開關(guān)波動(dòng)而升高，但實(shí)際上計(jì)算機(jī)控制給出的振蕩系統(tǒng)的電壓并未升高，用萬用表測(cè)量計(jì)算機(jī)設(shè)定值電路板HT STAB PB的TM4（MT ES）對(duì)地電壓，每升高2KV，該點(diǎn)電壓呈線性比例對(duì)應(yīng)升高0.15V，說明計(jì)算機(jī)高壓值設(shè)置系統(tǒng)工作正常。

2、束流測(cè)試系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)控制輸出電壓受高壓箱內(nèi)反饋電壓作用并輸送給高壓發(fā)生器，高壓發(fā)生器振蕩電壓送至高壓箱內(nèi)變壓器。用萬用表測(cè)高壓發(fā)生器電路板HT OSC PB的HT PS點(diǎn)對(duì)地電壓，從20KV到40KV升高過程正常，繼續(xù)升高計(jì)算機(jī)顯示屏顯示電壓918V不再升高。拔下高壓電纜和反饋線后轉(zhuǎn)換開關(guān)S1至手動(dòng)方式M（正常為自動(dòng)方式A）重新測(cè)量，結(jié)果電壓不再受反饋信號(hào)作用，可以正常升高，說明束流測(cè)試系統(tǒng)正常，高壓供電電壓正常。

3、高壓發(fā)生器系統(tǒng)，打開高壓箱檢查高壓箱內(nèi)RC濾波部件正常，用兆歐表逐個(gè)檢查高壓變壓器輸出倍壓整流高壓硅堆，發(fā)現(xiàn)最高一級(jí)的一只高壓硅堆參數(shù)不穩(wěn)定，同時(shí)發(fā)現(xiàn)高壓箱內(nèi)有放電斑點(diǎn)，證實(shí)故障可能在高壓箱內(nèi)。更換一只新高壓硅堆，并清除掉放電斑點(diǎn)，再用石油醚將高壓箱內(nèi)不徹底清洗一遍，烘干充入氟利昂保護(hù)氣，開機(jī)電鏡恢復(fù)正常運(yùn)行。

小結(jié)：打開高壓箱要慎重，高壓箱一般情況下盡量不要打開，非要打開時(shí)一定要按操作規(guī)程進(jìn)行操作，注意操作安全，絕對(duì)保持高壓箱內(nèi)清潔，工作環(huán)境要做好防塵和除塵處理。

5、其他系統(tǒng)

故障一（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

儀器在正常觀察中，由于天氣打雷閃電引起突然停電，再開機(jī)時(shí)發(fā)現(xiàn)打印機(jī)不停輸送打印紙，其他均未發(fā)現(xiàn)異常。

【故障分析】：

從故障現(xiàn)象看，故障在打印機(jī)系統(tǒng)，或打印機(jī)相關(guān)的驅(qū)動(dòng)電路及打印機(jī)街口單元。按下鍵盤打印鍵，打印功能完全顯示在顯示屏上，由此判斷電鏡打印功能是正常的。

【故障排除】：

關(guān)閉打印機(jī)接口電路板的電源，打印機(jī)仍然不停地送紙，從而判斷故障出在打印機(jī)本身，故障發(fā)生在打印機(jī)驅(qū)動(dòng)電路板（PTR DRVER PB），通過對(duì)電路的分析，故障極有可能出現(xiàn)在馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路上，而馬達(dá)驅(qū)動(dòng)電路又由三個(gè)三極管TR15、TR16、TR17（2SA1051）組成。用萬用表分別測(cè)量三個(gè)三極管，結(jié)果發(fā)現(xiàn)TR17的CE間被擊穿短路，由于無同型號(hào)三極管，故用2SA733替換2SA1051更換后，打印機(jī)恢復(fù)正常功能，故障排除。

故障二（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

打開主機(jī)電腦小顯示屏上顯示“FC ITF PB Error”，5分鐘后出現(xiàn)亂碼或錯(cuò)誤信息，按“PAGE”鍵無法翻頁，停留在初始頁面上。按復(fù)位鍵也無法復(fù)位，重啟主機(jī)仍然出現(xiàn)亂碼。

【故障分析】：

因?yàn)殚_機(jī)時(shí)出現(xiàn)亂碼，分析可能是某些初始化參數(shù)設(shè)置異常，或儀器工作一段時(shí)間后某些參數(shù)發(fā)生漂移，使開機(jī)程序進(jìn)入死循環(huán)。

【故障排除】：

1. 按CTRL+A，屏幕左上角出現(xiàn)“＊”；

2. 按REST回車；

3. 極靴設(shè)置：按PP=SAP，D，回車；

4. 高壓設(shè)置：按HT=1.0，回車；

5. 靈敏度設(shè)置：按SE=10，回車。

經(jīng)過以上操作，重新設(shè)置輸入?yún)?shù)，重新開機(jī)不再出現(xiàn)亂碼及錯(cuò)誤數(shù)據(jù)，開機(jī)初始化顯示亂碼故障排除，電鏡恢復(fù)正常工作。

故障三（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

儀器開機(jī)抽真空運(yùn)行一切正常，但電腦顯示錯(cuò)誤信息提示“FC ITF PB Error”（功能內(nèi)部接口電路板出錯(cuò)），儀器右面板各鍵指示燈全亮，按鍵盤復(fù)位鍵和其他鍵均無反應(yīng)，呈“死機(jī)”狀態(tài)。

【故障分析】：

儀器正常是開機(jī)幾秒鐘后電腦顯示各參數(shù)的初始狀態(tài)，此次儀器顯示錯(cuò)誤提示，說明電腦在自檢過程中某處或某個(gè)部件出現(xiàn)功能喪失，提示該部件存在故障，儀器電腦控制系統(tǒng)由多快電路板組成，重點(diǎn)在這些電路板上。

【故障排除】：

首先對(duì)各電路板插接部位及接口進(jìn)行清洗，重新插上故障并未改善，因?yàn)閮x器右面板各鍵指示燈全亮，懷疑控制右面板的電路板“R PANEL ITF PB”（右面板內(nèi)部接口印刷電路板）有問題，在沒有專業(yè)檢測(cè)設(shè)備的情況下，只好逐一取下電路板各集成塊進(jìn)行單獨(dú)檢測(cè)，當(dāng)檢測(cè)一塊型號(hào)為“7406”IC時(shí)，結(jié)果顯示集成塊功能不正常，換上一塊新購的“7406”集成塊，安裝復(fù)原電路板，開機(jī)電腦自檢通過，不再出現(xiàn)錯(cuò)誤信息提示，右面板各鍵指示燈全亮故障也消失，儀器恢復(fù)正常工作，故障排除。

故障四（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

正常開機(jī)5分鐘后，自動(dòng)關(guān)機(jī)，重新開機(jī)反復(fù)出現(xiàn)5分鐘自動(dòng)停機(jī)。

【故障分析】：

電鏡的工作環(huán)境要求在18℃～25℃范圍，由于天氣炎熱現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境溫度為29℃，高于儀器工作環(huán)境溫度，分析可能是環(huán)境溫度過高，儀器內(nèi)保護(hù)程序啟動(dòng)，使儀器自動(dòng)停機(jī)。

【故障排除】：

在電鏡室安裝空調(diào)，將室溫控制在18℃～25℃，電鏡開機(jī)進(jìn)入正常工作狀態(tài)。5分鐘自動(dòng)停機(jī)故障消失。

故障五（JEM-1200EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)抽真空正常，但暗電流只有十幾微安且不穩(wěn)定，也不隨加速電壓標(biāo)稱值改變而改變，圖像亮度很暗。

【故障分析】：

暗電流低是加速電壓低的表現(xiàn)，加速電壓受控于HT OSC PB，HT STAB PB，HT UNIT PB，重點(diǎn)在此三塊電路板上。

【故障排除】：

檢查HT OSC PB，測(cè)HT OSC PS電壓為5V左右，正常為38V（加速電壓80KV標(biāo)稱值）。該電壓受控于HT STAB ES電壓。

檢查HT STAB PB，測(cè)HT STAB ES電壓為33.7V正常，檢查HT UNIT PB，測(cè)三極管TR11，TR12工作正常.

測(cè)三極管TR13工作狀態(tài)，此為高壓發(fā)生器過流保護(hù)三極管，結(jié)果已導(dǎo)通，說明高壓發(fā)生器過流保護(hù)了。此電流受控于VR1可調(diào)電阻，試著微調(diào)TR1結(jié)果暗電流恢復(fù)正常了，加速電壓及圖像亮度也正常了，故障排除儀器恢復(fù)正常工作。

小結(jié)：儀器工作時(shí)間較長，加上環(huán)境變化等因素，TR1可調(diào)發(fā)生阻值變化，或觸電接觸不良，導(dǎo)致電流過大，高壓發(fā)生器過流保護(hù)電路啟動(dòng)，使儀器無法正常工作。

故障六（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

左控制面板（L1）偏壓方式（BIAS MODE）的粗調(diào)旋鈕數(shù)字上升至9以后，數(shù)字不能降下來。

【故障分析】：

偏壓方式是用于調(diào)節(jié)電子槍偏壓的，是通過高壓箱（HT TANK）中的偏壓可變電路實(shí)現(xiàn)的，偏壓電路可使文氏帽上的電位低于燈絲尖上的電位，并由此改變偏壓，從而調(diào)節(jié)輝度和束流。由電路原理分析主要檢查偏壓可變電路。

【故障排除】：

偏壓可變電路由C39、R24、VR1、VR2、D54～D56等組成，C39的作用是吸收VR1、VR2產(chǎn)生的噪音，D54～D56是保護(hù)文氏帽放電泄流作用的，VR2與微動(dòng)開關(guān)S1及電機(jī)MO1是聯(lián)動(dòng)的，有陪你關(guān)于偏壓粗調(diào)，同理VR1與微動(dòng)開關(guān)S2及電機(jī)MO2也是聯(lián)動(dòng)的，用于偏壓細(xì)調(diào)。VR1、VR2的阻值增加，S1、S2的變小。用控制板（L）上的偏壓開關(guān)細(xì)調(diào)（VR2）驅(qū)高壓箱內(nèi)動(dòng)電機(jī)MO2偏壓電阻有變化，說明細(xì)調(diào)正常。粗調(diào)（VR1）S2與MO2不正常，打開高壓箱檢查發(fā)現(xiàn)電機(jī)MO2轉(zhuǎn)軸已走到頭在限位開關(guān)S1位置無法反回。仔細(xì)查看結(jié)果是電機(jī)轉(zhuǎn)軸鎖緊螺絲松了，造成轉(zhuǎn)軸打滑無法運(yùn)轉(zhuǎn)了。重新緊固螺絲，粗調(diào)偏壓調(diào)節(jié)恢復(fù)正常，旋鈕數(shù)字升降也恢復(fù)正常。

故障七（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

電鏡正常使用中，圖像像散突然增大，更換物鏡光闌孔，圖像像散無變化，按下控制面板上的OBJ STIG1鍵或OBJ STIG2鍵，調(diào)節(jié)DFE X Y圖像像散也無法消除，計(jì)算機(jī)顯示屏顯示物鏡消像散線圈電壓值變化范圍始終處于正值，電鏡自檢熒光屏顯示“DEF PB ERROR”。

【故障分析】：

電鏡消像散電路（圖5）大致可分為輸入電路，控制板接口電路，計(jì)算機(jī)控制電路，計(jì)算機(jī)接口電路，數(shù)字鎖存及D/A轉(zhuǎn)換電路，比較自檢電路，消像散控制電路，消像散驅(qū)動(dòng)電路及消像散線圈等組成，其消像散線圈電流的變化是通過調(diào)節(jié)面板上的DFE X Y來控制的。重點(diǎn)在消像散控制電路系統(tǒng)。

【故障排除】：

消像散電路控制電路主要是控制消像散放大電路的輸入通道接受來自計(jì)算機(jī)的各種控制信號(hào)，并執(zhí)行這些信號(hào)以達(dá)到控制消像散線圈的目的。消像散驅(qū)動(dòng)電路主要是由差分放大電路組成，信號(hào)被功率放大直接驅(qū)動(dòng)消像散線圈。先在120KV加速電壓條件下，檢測(cè)消像散器及合軸用的各電源電壓，測(cè)TP10、TP12電壓為+5V，TP11、TP13為-5V。

再對(duì)數(shù)據(jù)鎖存及D/A轉(zhuǎn)換電路進(jìn)行檢測(cè)，旋轉(zhuǎn)控制面板上的SHIFT X順時(shí)針方向到底，然后再逆時(shí)針方向到底，分別對(duì)集成電路IC01A、IC02A、IC03A、IC7及DEF LENS ITF PB的IC3J（7407六緩沖器/驅(qū)動(dòng)器）測(cè)量，當(dāng)檢測(cè)到IC03J-8腳電位為0，9腳電位也為0，IC03J有問題，更換一塊7407集成塊，測(cè)量IC03J-8腳、9腳電位，調(diào)節(jié)OBJ STIG1鍵或OBJ STIG2鍵，變化范圍為X：+2.09V～-1.59V，Y：+1.84V～-1.85V，物鏡消像散電路恢復(fù)正常，故障排除。

圖6 JEM-2000EX電鏡消像散電路框圖

故障八（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)2～3秒內(nèi)自動(dòng)停機(jī)（圖6）。在2～3秒內(nèi)V15閥放氣，顯示機(jī)械泵已工作，V16閥打開，操作面板各鍵指示燈由暗到亮閃爍一下，然后恢復(fù)到常態(tài)。

【故障分析】：

出現(xiàn)開機(jī)2～3秒內(nèi)自動(dòng)停機(jī)的原因有如下幾個(gè)可能。

① 機(jī)械泵供電故障不能啟動(dòng)，引發(fā)停機(jī)。

② 冷卻水壓力不足，壓力繼電器不吸合，S1（RP）、S2（DP）觸點(diǎn)開路，造成停機(jī)。

③ 真空測(cè)量皮拉尼規(guī)插座松動(dòng)接觸不良，導(dǎo)致停機(jī)。

【故障排除】：

① 在PAGE-3上顯示V15閥亮，檢查PS UNIT F6指示燈亮，確認(rèn)機(jī)械泵供電電路保險(xiǎn)絲F6熔斷，機(jī)械泵不運(yùn)轉(zhuǎn)導(dǎo)致主機(jī)停機(jī)，更換保險(xiǎn)絲主機(jī)恢復(fù)正常。

② 測(cè)量真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12的N（RP）和A（DP）由電壓0V變?yōu)?V，說明冷卻水壓力不足，檢查進(jìn)水壓力偏低，導(dǎo)致停機(jī)。重新調(diào)節(jié)進(jìn)水壓力，停機(jī)故障排除。

③ 電鏡有四個(gè)皮拉尼規(guī)，其中任意一個(gè)插座接觸不良都有可能導(dǎo)致停機(jī)，檢測(cè)真空系統(tǒng)電路板VAC SYSTEM PB插座CN12對(duì)應(yīng)的16腳（PI-2）、18腳（PI-3）、19腳（PI-4）正常均為0V，測(cè)17腳（PI-1）為5V不正常，重新插好對(duì)應(yīng)PI-1真空規(guī)插座，測(cè)17腳為0V恢復(fù)正常，PI-1恢復(fù)數(shù)字顯示，停機(jī)故障排除。

故障九（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)30秒自動(dòng)停機(jī)。

【故障分析】：

機(jī)械泵，冷卻水壓力，皮拉尼規(guī)均正常，空壓機(jī)壓力是否≥3.2kg，程序進(jìn)入自檢異常和循環(huán)等待，無法繼續(xù)進(jìn)行而停機(jī)。保護(hù)性或意外因素導(dǎo)致停機(jī)。

【故障排除】：

① 檢測(cè)機(jī)械泵（RP）泵單元開關(guān)S1無輸出，檢查發(fā)現(xiàn)機(jī)械泵空轉(zhuǎn)，不能抽氣，結(jié)果是皮帶常年運(yùn)行老化了，更換一新皮帶，機(jī)械泵恢復(fù)正常運(yùn)行，30秒鐘停機(jī)故障排除。

② 檢測(cè)VAC SYSTEM PB插座CN12的V腳（DP1）發(fā)現(xiàn)為高電平，擴(kuò)散泵沒有工作，檢查DP1供電電路保險(xiǎn)絲F8熔斷，更換保險(xiǎn)絲30秒停機(jī)故障排除。

圖7 JEM-2000EX電鏡開機(jī)真空系統(tǒng)工作流程圖

故障十（JEM-2000EX）

【故障現(xiàn)象】：

開機(jī)由工作狀態(tài)進(jìn)入停機(jī)。

【故障分析】：

電鏡在使用中突發(fā)性停機(jī)，大致有以下幾個(gè)原因。

① 人為因素造成停機(jī)。

② 市電掉電引起停電停機(jī)。

③ 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)故障引起停機(jī)。

【故障排除】：

① 人為誤操作，儀器在使用過程中操作者不慎，未按操作順序進(jìn)行關(guān)機(jī)，直接關(guān)閉穩(wěn)壓器電源或總電源開關(guān)。另外也有可能誤碰倒了鑰匙開關(guān)，由NO轉(zhuǎn)到了OFF位置，造成人為關(guān)機(jī)。

② 市電停電引起的整機(jī)停機(jī)，整機(jī)停機(jī)后，應(yīng)及時(shí)將各調(diào)節(jié)旋鈕和相應(yīng)開關(guān)恢復(fù)到初始狀態(tài)，停機(jī)休息一段時(shí)間后。供電恢復(fù)電后，在各外圍設(shè)備無異常情況下，可以重新開機(jī)恢復(fù)正常運(yùn)行。

③ 瞬時(shí)閃停造成的停機(jī)，瞬時(shí)閃停表現(xiàn)為照明燈瞬時(shí)閃爍，高壓丟失，束電流歸零，各別閥門動(dòng)作紊亂，V15閥自動(dòng)打開放氣，機(jī)械泵停止運(yùn)轉(zhuǎn)等，嚴(yán)重時(shí)對(duì)儀器的某些部件會(huì)造成損壞。對(duì)于發(fā)生整機(jī)停機(jī)可以重新開機(jī)即可。對(duì)于部分停機(jī)（死機(jī)狀態(tài)）如計(jì)算機(jī)軟件程序中斷停機(jī)，可重啟計(jì)算機(jī)執(zhí)行完程序后，進(jìn)行二次開機(jī)，在開機(jī)過程中要隨時(shí)注意儀器運(yùn)行狀態(tài)，如有異常及時(shí)檢查并維修儀器。

④ 冷卻循環(huán)水系統(tǒng)故障引起停機(jī)，循環(huán)水箱蒸發(fā)、滲漏等水量不足，水位下降是水位開關(guān)斷開，造成停機(jī)。應(yīng)及時(shí)補(bǔ)足水量或修復(fù)滲漏，以保證循環(huán)水充足水量。管道流水不暢、堵塞、限流等使循環(huán)水溫過高，冷凝器覆蓋灰塵過多，冷卻效率下降，超溫保護(hù)開關(guān)動(dòng)作停機(jī)。應(yīng)及時(shí)疏通管道，檢查水泵進(jìn)出水口壓力和流量，清除管道水垢及冷凝器覆蓋灰塵，確保管道暢通、水溫不超限，防止出現(xiàn)停機(jī)故障。

結(jié)語

作為專業(yè)電子維修技術(shù)人員，對(duì)于電鏡的維修不但需要專業(yè)的電子基礎(chǔ)知識(shí)和電子儀器維修技術(shù)，而且還需要積累豐富的實(shí)際維修經(jīng)驗(yàn)，盡量多參與具體的維修實(shí)踐活動(dòng)，這樣可以大大提高自己的技術(shù)業(yè)務(wù)水平和專業(yè)維修技術(shù)，豐富自己的維修閱歷，使自己成為經(jīng)驗(yàn)豐富且技術(shù)高超的受人尊敬的維修大師。

以下幾點(diǎn)供大家參考：

1、要適當(dāng)懂得分析專業(yè)知識(shí)和操作知識(shí)。

2、要加強(qiáng)提高專業(yè)維修技術(shù)。

3、提高判斷和識(shí)別能力及技巧方法。

4、加強(qiáng)舊儀器的技術(shù)改造工作。

5、做好維修記錄，總結(jié)維修方法，積累維修經(jīng)驗(yàn)。