X射線光譜分析儀的好壞常常是以X射線強度測量的理論統(tǒng)計誤差來表示的，BX系列波長色散X射線熒光儀的穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，已足以保證待測樣品分析測量的精度，被分析樣品的制樣技術(shù)成  為影響分析準確度的至關(guān)重要的因素，在樣品制備方面所花的工夫?qū)从吃诜治鼋Y(jié)果的質(zhì)量上。X射線熒光儀器分析誤差的來源主要有以下幾個方面：
       1．采樣誤差：
       非均質(zhì)材料
       樣品的代表性
       2．樣品的制備：
      制樣技術(shù)的穩(wěn)定性
      產(chǎn)生均勻樣品的技術(shù)
      3．不適當?shù)臉藰樱?/strong>
       待測樣品是否在標樣的組成范圍內(nèi)
       標樣元素測定值的準確度
      標樣與樣品的穩(wěn)定性
       4．儀器誤差：
       計數(shù)的統(tǒng)計誤差
       樣品的位置
       靈敏度和漂移
       重現(xiàn)性
       5．不適當?shù)亩繑?shù)學模型：
       不正確的算法
      元素間的干擾效應(yīng)未經(jīng)校正
       顆粒效應(yīng)
       純物質(zhì)的熒光強度隨顆粒的減小而增大，在多元素體系中，已經(jīng)證明一些元素的強度與吸收和增強效應(yīng)有關(guān)，這些效應(yīng)可以引起某些元素的強度增加和另一些元素的強度減小。圖1列舉了強度與研磨時間的關(guān)系：①粒度的減小，引起鐵、硫、鉀的強度減小，而使鈣、硅的強度增加。②隨著粒度減小至某一點，強度趨于穩(wěn)定。③較低原子序數(shù)的元素的強度隨粒度的減小有較大的變化。

       礦物效應(yīng)
       圖2中樣品為用不同礦物配成的水泥生料。標為“I”的樣品是用石灰石、頁巖和鐵礦石配成的。標為“F”的樣品含有相同的石灰石和鐵礦石，但硅的來源是用砂巖代替了頁巖。兩組原料用同一設(shè)備處理，用同一研磨機研磨，每一個樣品約有85%通過200目。圖2表明這種強度—濃度上的變化首先反映了硅的來源不同，“I”的硅來自頁巖，“F” 的硅來自砂巖。然而兩組樣品的進一步研磨指出這僅僅是一個粒度效應(yīng)問題。圖3表明在全部樣品經(jīng)研磨機粉研到325目（44μm）以后，兩組樣品的實驗點均落在同一曲線上。

      元素間吸收—增強效應(yīng)
       任何材料的定量X射線熒光分析要求元素的測量強度與其百分含量成正比，在巖石和礦物（由兩種或兩種以上礦物的組合）這類復雜的基體中，由于試樣內(nèi)其它元素的影響，元素的強度可能不直接與其含量成正比。一般認為，多元素體系中這種非線性是由元素間效應(yīng)引起的。元素間效應(yīng)可以是增強效應(yīng)或吸收效應(yīng)，也可以是同時包括這兩種效應(yīng)。仍以圖2、圖3實驗為例，圖4表明通過簡單的研磨可以改進CaO的分析結(jié)果。圖5表明校正鉀對鈣的干擾后，兩組樣品的實驗點均落在同一曲線上。