氦質(zhì)譜檢漏儀是一種常用于檢測(cè)真空系統(tǒng)或密封系統(tǒng)中微小氣體泄漏的儀器。其原理是利用氦氣的低相對(duì)原子質(zhì)量和極低的自然存在量，使得它成為檢測(cè)微小氣體泄漏的理想選擇。以下是氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理、作用和使用方法：
原理：
- 泄漏檢測(cè)：在被測(cè)系統(tǒng)內(nèi)充入氦氣，若存在泄漏，氦氣將從泄漏處逸出到外部環(huán)境中。
- 氦氣進(jìn)樣：泄漏氦氣通過(guò)進(jìn)樣系統(tǒng)進(jìn)入質(zhì)譜檢測(cè)器。
- 質(zhì)譜檢測(cè)：氦氣分子在電場(chǎng)作用下被電離并產(chǎn)生碎片離子，這些離子根據(jù)質(zhì)量電荷比（m/z）被分離和檢測(cè)，進(jìn)而確認(rèn)泄漏位置和大小。
作用：
- 精確檢測(cè)泄漏：能夠檢測(cè)到微小至10^-12 mbar·L/s的氣體泄漏。
- 定位泄漏點(diǎn)：通過(guò)檢測(cè)氦氣濃度高低來(lái)確定泄漏位置。
- 質(zhì)譜分析：可對(duì)檢測(cè)到的氣體成分進(jìn)行分析，了解泄漏物質(zhì)的性質(zhì)。
使用方法：
- 準(zhǔn)備工作：連接氦氣罐和被測(cè)系統(tǒng)，打開氦氣供應(yīng)，保證系統(tǒng)處于真空狀態(tài)。
- 設(shè)定參數(shù)：設(shè)定質(zhì)譜儀的檢測(cè)參數(shù)，如離子源溫度、電子能量等。
- 開始檢測(cè)：將氦氣充入系統(tǒng)，打開檢測(cè)儀器，開始檢測(cè)泄漏。
- 分析結(jié)果：根據(jù)質(zhì)譜檢測(cè)結(jié)果，確定泄漏位置和大小。
- 修復(fù)泄漏：根據(jù)泄漏位置修復(fù)系統(tǒng)，再次進(jìn)行檢測(cè)確認(rèn)泄漏問(wèn)題已解決。
使用氦質(zhì)譜檢漏儀需要一定的專業(yè)知識(shí)和技能，操作時(shí)需要注意安全，并嚴(yán)格按照操作手冊(cè)進(jìn)行操作。
