2024年9月29日,市場監(jiān)管總局(國家標準委)發(fā)布2024年第22號國家標準公告,批準發(fā)布《微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 傳感器用MEMS壓電薄膜的環(huán)境試驗方法》(GB/T 44513-2024)等六項微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)國家標準,計劃于2025年4月前陸續(xù)實施。這六項國家標準由全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC336)歸口,明確了MEMS材料界面結(jié)合能的四點彎曲試驗方法、MEMS膜殘余應力試驗方法等內(nèi)容,在全國范圍內(nèi)進一步統(tǒng)一了對MEMS相關(guān)試驗、測量方法及技術(shù)規(guī)范的認識,對推動微機電系統(tǒng)技術(shù)發(fā)展以及后續(xù)相關(guān)標準研制具有重要意義。
全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(TC336)于2008年11月成立,秘書處設(shè)在中機生產(chǎn)力促進中心有限公司。下一步,為推動微機電系統(tǒng)技術(shù)標準的實施和應用,全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC336)將組織MEMS行業(yè)專家和有關(guān)單位編制標準解讀和宣貫教材,系統(tǒng)開展微機電系統(tǒng)技術(shù)的基礎(chǔ)知識培訓和國家標準宣貫工作。
近年來,為支撐國內(nèi)MEMS行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展,全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC336)聚焦MEMS產(chǎn)品全生命周期各關(guān)鍵環(huán)節(jié),在共性基礎(chǔ)、設(shè)計及評價、制造與檢測、器件可靠性等方面組織制定了49項標準,其中已發(fā)布國家標準36項。