答：液質(zhì)系統(tǒng)關機需要卸真空。具體操作如下：1）關閉液相，質(zhì)譜待機；2）打開軟件“系統(tǒng)控制”模塊，點擊“自動關機”，待質(zhì)譜加熱模塊和DL降溫后，分子渦輪泵和機械泵停止，等待關機完成后，即可關閉軟件，使用DL Plug堵住DL入口。

問：液質(zhì)關機分幾步？

答：液質(zhì)系統(tǒng)關機分3步：1）沖洗液相系統(tǒng)置換溶液；2）液質(zhì)系統(tǒng)待機、卸真空；3）關機，關閉液相色譜各單元和質(zhì)譜單元電源；關閉氮氣發(fā)生器電源或液氮罐總氣閥，關閉氬氣鋼瓶總氣閥；清空廢液，檢查廢氣管位置。

元素分析儀器（ICPMS-2030系列）

問：假期期間需要關機嗎？

答：通常情況下不建議經(jīng)常關機，保持日常開機狀態(tài)有利于真空度維持。如果較長時間不使用，為避免停電對儀器造成損害，可以關機。

問：如何正確關機？

答：儀器在待機狀態(tài)下，通過軟件 -“儀器”-“真空泵”關閉真空系統(tǒng)，等待真空系統(tǒng)顯示停止，關閉主機電源開關。妥善處理儀器周邊的樣品、校平器及廢液瓶中廢液，確保氬氣、氦氣鋼瓶關閉。

問：如何正確開機？

答：打開儀器主電源開關，稍作等待后通過軟件 -“儀器”-“真空泵”打開真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)顯示Ready后，開機完成。

表面分析儀器（XPS）

問：假期期間XPS可以不關機，保持待機狀態(tài)嗎？

答：可以的，對于假期期間可以正常供電的用戶，強烈建議保持待機狀態(tài)，只需保證X射線源、離子源等處于關閉狀態(tài)即可。

問：XPS關機時需要關閉各個真空閥門嗎？

答：需要關閉高純氮進氣閥、離子槍、UPS與主真空連接閥門及三個Backing閥門，確保儀器處在真空狀態(tài)，對沒有空壓機客戶保持普氮進氣閥處于開啟狀態(tài)（使防震氣墊正常工作）。

問：XPS開機后需要注意什么？

答：注意檢查氣體、循環(huán)水、預抽室與主真空室的真空是否在正常狀態(tài)，若處在正常狀態(tài)即可進行測試，測試前建議先對燈絲、陽極靶進行脫氣操作。

表面分析儀器（SPM）

問：儀器完全關機有先后順序嗎？

答：有的，但只需要記住一點，就能確保安全關機。先退出儀器軟件，最后關閉儀器和電腦總電源，其它無先后順序。（如使用了載氣，不要忘記關閉載氣閥。）

問：儀器完全關機后環(huán)境是否有特殊要求？如溫度、濕度及儀器是否要確保一定的真空度？

答：由于儀器基本不涉及真空度，因此對環(huán)境無特殊要求，僅需確保常規(guī)的環(huán)境即可。

問：儀器關機后，探針架及探針如何存放？

答：儀器關機后，需將探針架從儀器中取出；如果探針架上還有探針，應取下探針放入探針盒內(nèi)，將探針架及探針放入防潮柜里干燥保存。

問：儀器長時間關機后，需要開機多久才能進行正常使用？

答：由于儀器通常情況下不涉及真空度，因此儀器在通電開啟后即可進行正常使用。

表面分析儀器（EPMA）

問：假期電子探針顯微分析儀（EPMA）需要關機嗎？

答：一般我們推薦使用待機模式即可，保持最基本的真空泵運轉(zhuǎn)，節(jié)后可快速恢復至工作狀態(tài)。如長時間不使用，對于EPMA-1720系列，可以整體全部關機，對于場發(fā)射EPMA-8050G最好保持電子槍電源的基本供應，以維持電子槍的運行需要。

問：EPMA關機時，各個附屬設備有先后順序嗎？

答：在軟件上操作關機命令后，按提示操作，關閉主機后再關閉電腦、PR氣、等20min~1h后關閉循環(huán)水，最后關閉所有電源即可。開機時，按相反的順序操作依次打開。

問：EPMA開機后需要注意什么？

答：先檢查附屬設備的狀態(tài)，如RP氣的氣壓、循環(huán)水的水質(zhì)和余量、機械泵的泵油情況等等。確保附屬設備工作正常后，再打開主機。