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  • 應用于MEMS產品的精密電子零部件及制造技術

    一、精密電子零部件概述 微機電系統（MEMS）是指尺寸在毫米級甚至微米級的微型電子裝置，主要可分為微型傳感器和微型執(zhí)行器兩個大類。由于MEMS的尺寸較小，用于...

    來源 : MEMS | 2020-04-01 14:06
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