在晶體生長爐與等靜壓石墨材料的生產(chǎn)中,溫度控制是決定產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率的核心環(huán)節(jié)。紅外測溫儀作為高溫工藝的“眼睛”,其性能的長期穩(wěn)定性與可靠性直接關(guān)乎晶體純度、石墨性能一致性等關(guān)鍵指標。近年來,隨著國產(chǎn)紅外測溫技術(shù)的突破,這一領(lǐng)域正經(jīng)歷從依賴進口到自主可控的深刻變革。
長期穩(wěn)定性與可靠性對工藝的影響
晶體生長爐對溫度控制有著較高的需求。在單晶硅、藍寶石等高端晶體材料的生長過程中,爐內(nèi)溫度梯度的精準控制是避免晶體缺陷的關(guān)鍵。例如,硅單晶生長爐的溫度需穩(wěn)定在1500℃以上,且局部波動需控制在±1℃以內(nèi)。爐內(nèi)溫度長期穩(wěn)定性不足可能導致溫控漂移,引發(fā)晶體缺陷(如位錯、孿晶),成品率下降;如果紅外測溫儀可靠性差(如鏡頭污染、元件老化),極易引發(fā)突發(fā)故障,導致爐體停機和材料報廢。
而在等靜壓石墨材料領(lǐng)域,石墨化爐內(nèi)溫度均勻性決定了材料的導電性與機械強度。國產(chǎn)石墨化爐企業(yè)曾面臨兩難選擇:采用進口測溫設備雖能保證2800℃高溫下的測量精度,但設備成本占整爐造價15%以上;若選用早期國產(chǎn)設備,雖成本降至1/3,卻因粉塵干擾導致溫度誤判率高達7%,造成每年近萬噸石墨材料因局部過燒而報廢。
由于石墨化爐中溫度均勻性直接影響石墨的密度、強度和熱導率,因此,爐內(nèi)控溫是等靜壓石墨材料生產(chǎn)中的關(guān)鍵一環(huán)。而紅外測溫儀需在復雜工況(粉塵、氣體干擾)下連續(xù)工作數(shù)年,若測溫儀失準,可能導致石墨化不充分或局部過燒,產(chǎn)品批次一致性下降,高端應用(半導體、核能)的石墨材料合格率降低。
因此,進口紅外測溫儀曾長期占據(jù)主導地位,但其高昂的成本與漫長的售后周期成為行業(yè)痛點。
這種困境正在倒逼國產(chǎn)技術(shù)加速迭代,新一代國產(chǎn)紅外測溫儀通過多光譜融合技術(shù),將抗粉塵干擾能力提升至進口設備的90%,同時將高溫標定誤差壓縮至±0.8℃,使得石墨灰分含量穩(wěn)定控制在200ppm以下,達到半導體級應用標準。
國產(chǎn)化進程的機遇與挑戰(zhàn)
目前,國產(chǎn)紅外測溫儀在硬件層面相比國外品牌差距已逐漸縮小,國產(chǎn)傳感器(如InGaAs探測器)已接近國際水平,在高溫標定技術(shù)、抗干擾算法和光學鏡頭耐污染性及散熱設計等方面仍需進一步優(yōu)化。在軟件層面,部分國產(chǎn)設備已經(jīng)開始集成AI溫度補償模型,其長期數(shù)據(jù)和算法魯棒性還有待驗證和提升。
在石墨材料領(lǐng)域,精準控溫可使等靜壓石墨灰分含量從300ppm降至100ppm以下,滿足半導體級應用需求。在穩(wěn)定性、可靠性以及校準間隔有效提高后,可減少停機時間,單爐年產(chǎn)能有望提升5%~8%。
從成本上來看,紅外測溫儀國產(chǎn)替代后可令成本大幅下降,從而使晶體爐和石墨化爐設備整體成本下降;從供應鏈安全方面來看:規(guī)避進口設備交貨周期長、售后響應慢的風險,保障產(chǎn)能穩(wěn)定性;而從定制化能力上看,國產(chǎn)廠商可針對石墨材料生產(chǎn)的特殊需求(如超高溫段監(jiān)測)快速開發(fā)定制方案。
國產(chǎn)設備若實現(xiàn)高穩(wěn)定性,可助力晶體生長爐的控溫精度提升至±0.5℃,減少微缺陷密度,推動8英寸向12英寸硅片升級。另外,國產(chǎn)化替代降低了設備投資門檻,可加速新建產(chǎn)線投運。例如,石墨化產(chǎn)能有望從2023年的40萬噸/年增至2025年的60萬噸/年。
這場技術(shù)迭代正在重構(gòu)產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)。據(jù)中國電子材料行業(yè)協(xié)會數(shù)據(jù),2023年國產(chǎn)紅外測溫儀在晶體生長領(lǐng)域的滲透率已從五年前的12%提升至41%,帶動單晶硅設備投資成本下降18%,石墨化產(chǎn)能年復合增長率達24%。更為重要的是,國產(chǎn)設備廠商與下游用戶的深度綁定,也將催生出需求導向的創(chuàng)新模式。
未來建議
展望未來,國產(chǎn)紅外測溫技術(shù)的進階之路仍需跨越兩大門檻:一是建立覆蓋設備全生命周期的可靠性驗證體系,包括制定符合ASTM E2847標準的10年加速老化測試方案;二是突破高溫黑體輻射源標定裝置等核心工藝裝備的自主化。在技術(shù)協(xié)同攻關(guān)方面,推動測溫儀廠商與下游用戶(如晶體廠、石墨企業(yè))共建測試平臺,針對性優(yōu)化高溫抗干擾、多光譜融合等關(guān)鍵技術(shù)。
紅外測溫儀的國產(chǎn)化不僅是成本問題,更是高端制造業(yè)自主可控的關(guān)鍵一環(huán)。若能在長期穩(wěn)定性(如10年壽命驗證)和極端工況適應性上突破,將直接推動我國晶體材料與高端石墨產(chǎn)業(yè)躋身國際第一梯隊。只有實現(xiàn)從應用創(chuàng)新到基礎研究的閉環(huán)突破,才能讓國產(chǎn)測溫儀真正成為支撐第三代半導體、核級石墨等戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基石。
中科紅外測溫儀可實現(xiàn)國產(chǎn)化替代
中科紅外測溫儀傳承于中科院自動化所紅外測溫課題組,掌握具有自主知識產(chǎn)權(quán)的紅外測溫核心技術(shù),可為用戶提供紅外測溫儀整體解決方案。自1962年至今,團隊積累了60余年研發(fā)經(jīng)驗,已通過ISO19001質(zhì)量管理體系認證,技術(shù)實力雄厚,制造工藝先進,管理體系科學。
主導產(chǎn)品有(S)CIT系列紅外測溫儀,將國防(原子彈、氫彈、火箭燃氣測溫等)紅外探測技術(shù)應用于工業(yè)領(lǐng)域,獲得CE認證、ROHS認證、計量認證。
秉承“為客戶創(chuàng)造價值”的經(jīng)營理念,中科紅外系列測溫儀產(chǎn)品廣泛應用于國防、航天、冶金、熱處理、化工、半導體和電力等行業(yè),受到客戶一致好評。多年來,公司承擔并完成多項重點項目,多次獲得中科院級及省部級科學技術(shù)進步獎。
60余年來,從研制出中國第一臺紅外測溫儀到如今形成7大系列的產(chǎn)品系,從服務國防與航天領(lǐng)域到全面面向工業(yè)應用,中科紅外始終堅定信念,步履不停,以高瞻遠矚的格局視野和自主可控的先進技術(shù),走出了一條傳承與創(chuàng)新的發(fā)展之路。
技術(shù)創(chuàng)新是中科紅外不斷發(fā)展的實力和底氣,中科紅外致力于為用戶提供紅外測溫儀整體解決方案,以國產(chǎn)化替代為己任,加速對新產(chǎn)品、新技術(shù)的研發(fā),為中國制造向中國智造的全面轉(zhuǎn)型升級,貢獻自己的力量。