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航裕電源:光刻機(jī)測試解決方案

光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備,世界上只有少數(shù)廠家掌握了尖端光刻機(jī)的曝光系統(tǒng)和光刻技術(shù),核心芯片制造技術(shù)牢牢把握在了資本廠商手中,把控了多條科技命脈。提高光刻機(jī)研發(fā)技術(shù)水平,是發(fā)展中國集成電路產(chǎn)業(yè)的核心要務(wù)。


光刻機(jī)追求高分辨率和高精度對準(zhǔn),要求在μm距離范圍內(nèi),進(jìn)行多層曝光,并且層間圖案定位精準(zhǔn)。所以,要為如此精細(xì)工作的光刻機(jī)提供測試服務(wù),測試電源也必須擁有高壓、高頻、高精度、高速響應(yīng)速度等強(qiáng)度耐力。



航裕電源,致力于服務(wù)國家戰(zhàn)略,十年來服務(wù)于各大軍工院所和高校,為國家國防軍工、航空航天等高科技研發(fā)測試提供高品質(zhì)測試電源。此次,航裕電源為滿足國家光刻機(jī)研發(fā)測試需求,再次突破技術(shù)難關(guān),電源上升時間最快達(dá)到100μs以內(nèi),輸出電壓最大50kV,輸出電流單機(jī)最大10000A,可并聯(lián)至50000A,高功率密度達(dá)單機(jī)最大5kW/2U,可串聯(lián)、并聯(lián),組裝于集成柜,獲得更大功率。


長春國科精密光學(xué)技術(shù)有限公司前身為中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所超精密光學(xué)工程研究中心。致力于極大規(guī)模集成電路光刻投影光學(xué)、顯微光學(xué)、多光譜融合成像探測、超精密光機(jī)制造等領(lǐng)域的高技術(shù)研究,同時開展相應(yīng)高端光學(xué)儀器與裝備產(chǎn)品的研發(fā)工作。去年,長春國科購置了航裕電源HY-PMC系列可編程12通道直流電源,用于繼續(xù)推動光刻機(jī)等科研發(fā)展。



HY-PMC 可編程多通道直流電源    



產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 高精度

■ 高分辨率:1mV/ 1mA

■ 線性放大技術(shù),超低紋波噪聲

■ 兩通道以上輸出,最多可達(dá)120通道

■ 80種電壓/電流組合,可供用戶自由選擇

■ 恒壓CV/恒流CC,CV/CC優(yōu)先可設(shè)

■ 支持前面板編程,無須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動功能,應(yīng)對感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)

■ 多重保護(hù)功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架尺寸

■ 4 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入

■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ,更加安全(3U)

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 標(biāo)配遠(yuǎn)端測量端子,補(bǔ)償輸出線壓降

■ 風(fēng)機(jī)智能調(diào)速設(shè)計(jì),減少噪音

■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ,后部出風(fēng),節(jié)省散熱空間

■ 支持 Modbus 和 SCPI 協(xié)議

■ 標(biāo)配接口:RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 選購接口:LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測(隔離型)


8通道產(chǎn)品外觀


HY-HV 可編程高壓直流電源    



產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 輸出電壓最大50kV

■ 高功率密度:單機(jī)最大100kW

■ 支持前面板編程,無須上位機(jī)軟件控制

■ 電壓上升和下降斜率可調(diào)

■ 電源輸出軟啟動功能

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 16 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)

■ 多重保護(hù)功能 過溫、開路保護(hù)

■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架尺寸

■ 7 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入

■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ,更加安全

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 風(fēng)機(jī)智能調(diào)速設(shè)計(jì),減少噪音

■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ,后部出風(fēng),節(jié)省散熱空間

■ 支持 Modbus 協(xié)議

■ 標(biāo)配接口:RS-485&RS-232

■ 選購接口:LAN&CAN USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測(隔離型)


HY-PM 可編程多功能直流電源    



產(chǎn)品特點(diǎn)

■ 2U機(jī)型輸出額定電流510A,最大電流550A

■ 高功率密度:單機(jī)最大 5kW / 2U

■ 工作模式:恒壓 CV、恒流 CC,CV / CC 優(yōu)先可設(shè)

■ 輸入標(biāo)配 PFC,功率因素高達(dá) 0.99(5 kW / 2U)

■ 支持前面板編程,無須上位機(jī)軟件控制

■ 上升和下降斜率可調(diào)(電壓/電流)

■ 電源輸出軟啟動功能,應(yīng)對感性負(fù)載

■ 16 bits D/A 高精度轉(zhuǎn)換器,輸出精確

■ 20 bits A/D 高精度轉(zhuǎn)換器,回讀更準(zhǔn)

■ 多重保護(hù)功能 OVP / OCP / OTP

■ 19 英寸標(biāo)準(zhǔn)機(jī)架尺寸

■ 4 英寸超大液晶顯示屏

■ 觸摸屏操作 & 數(shù)字按鍵輸入

■ 多級飛梭調(diào)節(jié)旋鈕

■ 電源輸入采用斷路器控制 ,更加安全(3U)

■ 輸出 ON / OFF 按鍵

■ 標(biāo)配遠(yuǎn)端測量端子,補(bǔ)償輸出線壓降

■ 風(fēng)機(jī)智能調(diào)速設(shè)計(jì),減少噪音

■ 前面/側(cè)面進(jìn)風(fēng) ,后部出風(fēng),節(jié)省散熱空間

■ 支持 Modbus 和 SCPI 協(xié)議

■ 標(biāo)配接口:RS-485 & RS-232、Digital I/O

■ 選購接口:LAN & CAN、USB GPIB 模擬量編程和監(jiān)測(隔離型)

■ 可串聯(lián)、并聯(lián),組裝于集成柜


HY-PM系列多功能直流電源上升時間實(shí)測:8.446ms


HY-HS系列高速直流電源上升時間實(shí)測:161.9μs


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